商标 | |
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型号 | Sbt511 |
规格 | 称重传感器 |
包装 | 测力传感器 |
产量 | 578272 |
是否有现货 | 是 |
认证 | |
品牌 | 斯巴拓 |
系列 | Sbt |
转换方法 | 电阻应变式 |
型号 | Sbt511 |
规格 | 称重传感器 |
商标 | |
包装 | 测力传感器 |
专利分类 | 梁式传感器 |
专利号 | 高精度称重传感器 |
微型电场传感器
电场传感器是基于导体在电场中产生感应电荷的原理。图6 提供了一种基于MEMS 技术设计的微型电场传感器的结构图。传感器由振动和感应两大部分组成。振动部分的核心是振动膜,由氮化硅(Si3N4)薄膜制备,可以在图示的垂直方向上振动。感应电极、屏蔽电极和激振电极对由分别生长在振动膜和感应部分上的金属电极构成。屏蔽电极接地,其上有孔形阵列。传感器工作时,激振电极对连接交流电压源,通过两个电极间的库仑力作用引起振动膜垂直振动。调节交流电压频率,使振动膜在谐振点附近达到预定的振幅。此时感应电极接受经过屏蔽电极周期性屏蔽的电场,产生感应电流,经前置放大后接外部检测电路。微电场传感器弥补了一般电场传感器体积大、能耗高的缺点,可以应用于各种环境下静电场及低频电场的测量,有着广阔的应用前景 。