Hitachi日立电子显微镜主动减震台-至一科技
 
Hitachi日立扫描电子显微镜主动减震台，Hitachi日立透射电子显微镜主动隔振台
 
ArisMD主动减震台/主动隔振台
 
主动隔振频率范围：0.5～100Hz
 
优势：高性能，   
 
结构紧凑，可直接集成到电镜底部框架中，安装简易，安装成本低，时间短（一般是3～5小时）
 
优势:实时诊断工具：每个模块内置实时2通道示波器、实时2通道频谱分析仪；客户端Web服务器可测量X、Y、Z三轴方向的实时震动，分析系统隔振效果
 
优势:实时性能调整：全自由度实时自适应控制，客户端Web服务器可调节系统性能，适应场地振动变化；远程访问，完全远程服务可用于系统安装支持以及维修服务
 
简介：模块化主动减震系统由4个ArisMD300主动减震模块构成，独立模块，分布式控制。
 
用途：用于消除或降低地表附近震动源产生的震动，从而消除或减少由于地表震动 (包括附近建筑和设备所产生的震动)传导入电子显微镜而引起的震动干扰，保证电子显微镜的运行环境和工作状态。 
 
工作原理：多层主动减震和被动减震相结合，由传感器测试环境震动，经过信号处理系统转化成电信号传递到致动器，由致动器产生频率振幅相同，方向相反的震动抵消环境的振动。
 
性能：主动减震频率：0.5～100Hz
 
      -8dB at 1Hz，-20dB at 2Hz
 
      设置时间：<=0.1sec，属于目前业界主动减震系统  减震性能水平