真空探针台电子显微镜基本介绍 
 

  郑州科探仪器设备有限公司为用户提供了    配置的真空高低温探针台，高真空探针台冷热型 郑州科探该系统配置了温度控制系统，为用户提供  、稳定、  的温度控制，节约用户的设备预算。 
 
 
 真空探针台电子显微镜性能特点 
 

  配套了高精度PID温度控制器，用户可以清楚直观地了解了整体系统相关位置的温度情况，确保温度测试的可靠性。同时，200W 大功率直流输出，可让样品台快速从-196℃上升至400℃，  地提供了温控效率，为用户节省大量宝贵的实验时间。由于系统中温控部件均为直流配置，也大大地减少了加热部件的干扰，提供了系统 的漏电精度。 
 

  真空高低温探针台系统，使用国际上  的温度控制系统和传感器，温度范围为77.15K至673.15K（-196摄氏度到400摄氏度），温度稳定性可达0.1K 
 
 
 
高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有  要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配  真空度的泵组，以满足测试要求。
 
 
      为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的漂移。
 
 
可选多种样品台配置
 
 
普通的样品夹具。们也提供同轴或三同轴配置的样品夹具，用于  漏电测试应用中。所有样品夹具表面均有镀金层，增强样品的导电性能
 
 
 
 真空探针台电子显微镜技术参数 
 
 
 
 
  
 
   
 
    
 
真空腔体
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体材质
 
 
    
 
304不锈钢
 
 
   
 
   
 
    
 
上盖开启
 
 
    
 
铰链侧开
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台材质
 
 
    
 
304不锈钢
 
 
   
 
   
 
    
 
内腔体尺寸
 
 
    
 
φ160x90mm
 
 
   
 
   
 
    
 
观察窗尺寸
 
 
    
 
Φ70mm
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台尺寸
 
 
    
 
φ60mm
 
 
   
 
   
 
    
 
观察窗热台间距
 
 
    
 
75mm
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台温度
 
 
    
 
﹣196~350℃
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台温控误差
 
 
    
 
±1℃
 
 
   
 
   
 
    
 
真空度
 
 
    
 
机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
允许正压
 
 
    
 
≤0.1MPa
 
 
   
 
   
 
    
 
真空抽气口
 
 
    
 
KF25真空法兰
 
 
   
 
   
 
    
 
气体进气口
 
 
    
 
3mm-6mm卡套接头
 
 
   
 
   
 
    
 
电信号接头
 
 
    
 
SMA转BNC X 4
 
 
   
 
   
 
    
 
电学性能
 
 
    
 
绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V
 
 
   
 
   
 
    
 
探针数量
 
 
    
 
4探针
 
 
   
 
   
 
    
 
探针材质
 
 
    
 
钨针  
 
 
   
 
   
 
    
 
探针尖
 
 
    
 
10μm
 
 
   
 
   
 
    
 
探针移动平台
 
 
   
 
   
 
    
 
X轴移动行程
 
 
    
 
30mm    ±15mm
 
 
   
 
   
 
    
 
X轴控制精度
 
 
    
 
≤0.01mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Y轴移动行程
 
 
    
 
13mm    ±12.5mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Y轴控制精度
 
 
    
 
≤0.01mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Z轴移动行程
 
 
    
 
13mm    ±12.5mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Z轴控制精度
 
 
    
 
≤0.01mm
 
 
   
 
   
 
    
 
电子显微镜
 
 
   
 
   
 
    
 
显微镜类别
 
 
    
 
物镜
 
 
   
 
   
 
    
 
物镜倍数
 
 
    
 
0.7-4.5倍
 
 
   
 
   
 
    
 
工作间距
 
 
    
 
90mm
 
 
   
 
   
 
    
 
相机
 
 
    
 
sony 高清
 
 
   
 
   
 
    
 
像素
 
 
    
 
1920※1080像素
 
 
   
 
   
 
    
 
图像接口
 
 
    
 
VGA
 
 
   
 
   
 
    
 
LED可调光源
 
 
    
 
有
 
 
   
 
   
 
    
 
显示屏
 
 
    
 
8寸
 
 
   
 
   
 
    
 
放大倍数
 
 
    
 
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 真空探针台电子显微镜使用说明 
 
 
 
应用范围：
 
 
l 光伏工业
 
 
l 材料科学
 
 
l 光电行业
 
 
l 失效分析
 
 
l 通信器件测试
 
 
l 微机电技术
 
 
l 高频/微波测试
 
 
l 半导体技术
 
 
 
 真空探针台电子显微镜采购须知 
 
 
 
待测器件的温度会受到辐射及周边部件热传导的影响，因此，如果没有完善的热锚技术，将无法得到  可靠的目标温度。由于传感器只是安装在恒温器上，而不是安装在的温度实际将比您在控制器上观察到的温度要高出许多。