P13系列压电纳米定位台为二维XY、三维XYZ压电平台，为三维压电纳米定位台，台体采用平行运动学机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，  位移为 40μm/轴。开环闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。
 
 
 
特性
 
      • 三维XYZ轴运动                   • 最大行程40μm                  • 体积小巧                  
 
      • 亚毫秒响应时间                  •  纳米级定位精度
 
 
  
 
 
 

     
 
 
 
 
   
 
 
 
闭环阶跃稳定时间图
 
 
闭环版本40μm行程的稳定时间约为30ms。
 
 
应用
 
 
     • 2D扫描系统     • 光路调整     • 微操作     •原子力显微镜       • 纳米定       • 干涉法/ 扫描显微/纳米定位     
 
 
     •生物技术/半导体技术     •质量保证测试        • 微加工/精密控制