爱义信 洁净氮气柜 无尘氮气柜基本介绍 
 
 
  
 
 
 爱义信 洁净氮气柜 无尘氮气柜性能特点 
 
 
 适合半导体前端单晶硅制作过程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象； 由于普通的干燥存储柜或者氮气柜设计都为全封闭环境，且无自净功能，故内部容易积聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。洁净柜则适合存放需要避免灰尘污染的物品 
 
 
 爱义信 洁净氮气柜 无尘氮气柜技术参数 
 
 
 
产品特性：
 
 
 4英寸亮数码管显示，可视距离30米，可加装氮气节约控制系统，可加装报警系统。
 
 
 无尘风机——采用进口无尘室专用FFU风机，镀铝锌板材质，铝合金叶轮，风速0.3-0.45m/s，噪音<=55dB。
 
 
 双面护网过滤器——过滤效率高99.99%@0.3um。
 
 
 模组化设计，温湿度显示器、控制系统、除尘系统及除静电系统均能快速更换， 保养及维修简便，大大提升维护效率。
 
 
技术参数： 
 
 
材质：双镜面304不锈钢 
 
 
外尺寸： 1300W*1836H*800Dmm 
 
 
内尺寸： 1253W*1110H*650Dmm 
 
 
除湿等级： 相对湿度可达到5%Rh以下 （配合充氮气） 
 
 
洁净等级：     Class 2（百级）     Class 3（千级） 
 
 
湿度显示范围： 0.1%RH-99.9%RH 
 
 
湿度显示范围： -40℃-70.0℃（-9.9℃以下显示不带小数点） 
 
 
温湿度显示器精度： 相对湿度±3%Rh，温度±1℃