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VF2200-2030 2200℃碳化硅纯化炉设备介绍 晶体高温生长炉
 
 
1. 开炉取料型式：立式下出料
 
 
2. 主要技术参数
 
 
 
  
 
   
 
    
 
有效温区尺寸
 
 
    
 
Φ300×400mm
 
 
    
 
坩埚外径尺寸
 
 
   
 
   
 
    
 
加热器
 
 
    
 
石墨板式（主加热器+下补偿加热器）
 
 
    
 
东海碳素G330
 
 
   
 
   
 
    
 
隔热屏材料
 
 
    
 
高纯石墨化软毡+硬毡
 
 
    
 
吴羽化学R100
 
 
   
 
   
 
    
 
装炉量
 
 
    
 
300Kg
 
 
    
 
 
   
 
   
 
    
 
温度
 
 
    
 
2200℃
 
 
    
 
 
   
 
   
 
    
 
工作温度
 
 
    
 
2100℃
 
 
    
 
1500℃测温环测温
 
 
   
 
   
 
    
 
加热功率
 
 
    
 
135KVA
 
 
    
 
 
   
 
   
 
    
 
升温速率
 
 
    
 
0~20℃/min（可调）
 
 
    
 
 
   
 
   
 
    
 
控温精度
 
 
    
 
±0.1％ F S
 
 
    
 
 
   
 
   
 
    
 
极限真空度
 
 
    
 
5x10-3Pa
 
 
    
 
 
   
 
   
 
    
 
工作真空度
 
 
    
 
5x10-2Pa
 
 
    
 
 
   
 
   
 
    
 
压升率
 
 
    
 
＜0.5Pa/h
 
 
    
 
 
   
 
   
 
    
 
工艺气氛
 
 
    
 
真空/氩气
 
 
    
 
单气路质量流量计
 
 
   
 
   
 
    
 
炉内压力
 
 
    
 
压力0.02Mpa
 
 
    
 
充气压力0.05Mpa
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
3. 结构说明
 
 
该设备包含炉体、支撑炉体的架台组件、炉门锁紧机构、炉门升降机构、真空系统、热场、温度测量与控制系统、电气控制系统、冷却水系统、压缩空气系统以及工艺气氛系统。
 
 

  VF2200-2030 
 设备简介使用说明 
 
 
 安全系统包括：停水、超温、加热过流、旋片泵、分子泵，设备具有自检、故障自诊断、自动保护、防止误操作等功能。并具有声光报警提示和具备相应的联锁、互锁保护。  
 

  VF2200-2030 采购须知 
 
 
 
1、质保期从双方指定的验收代表签署验收报告之日开始12个月，或者从产品到达需方现场之日起13个月，以  到达的一个时间为准。
 2、易损件，例如热电偶、真空规管、发热体、熔断器、密封件、包装、垫片、润滑油、有机溶剂，不属于保修范围。
 3、供方对零部件自然损耗引起的损失没有责任，对需方不正当的操作而引起损坏不承担责任，对需方改变设备的用途或处理不恰当的材料，使用非供方提供的硬件或软件而引起损坏不承担责任；其它与供方无关的影响而造成的损坏也不在供方责任范围之列。
 4、严格执行国家相关产品质量要求，易损件除外，终身维修（维修按本公司有关规定或有关协议）。
 5、在接到需方设备故障通知后，供方4小时内电话响应，48小时内到现场处理问题。