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AST 2800 RTP 退火炉备件销售
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- 江苏省/无锡市
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无锡圆诺电子科技有限公司
身份认证
- 主营产品：
- 电子设备及零部件,零部件,机械设备的研发、技术咨询,技术转让,半导体设备及配件的销售维修服务,五金用品,仪表仪器,amat,P5000
- 产品参数 -
| 商标 | AST2800 |
|---|---|
| 型号 | AST2800 |
| 规格 | AST2800 |
| 包装 | AST2800 |
| 型号 | AST2800 |
| 规格 | AST2800 |
| 商标 | AST2800 |
| 包装 | AST2800 |
- 产品详情 -
PA3110硬盘备份设备调试技术服务石英件原厂备件提供Robot翻新Robotcontroller维修二手设备提供AST2800设备FEATURES/BENEFITS？Independentlampcontrolforimprovedtemperatureuniformityacrossthewafertopreventslipformation？Dynamicindividuallampadjustmentinanystepforexcellentuniformityduringallprocesssteps？OH-pyrometrywithlowtemperatureoptionforexactandreliablepyrometer-controlledannealingevenforcontactalloying(>200degreesC)？Preciseambientcontroltopreventhazeformationatoxygensensitiveprocesses？Linerplatestoprotectquartztubefromcondensatingcontaminants,easytochangeandclean？Automatedgraphiteboxhandlingtoreducethermaldecomposition？Hydrogencapabilityforreducingatmospheretoavoidhaze？SimonitorwafersforeasyandeconomicaluniformityoptimizationAPPLICATIONSContactAlloying:？alloyingofGe/Au/Nibasedlayersforohmiccontacts？Shottkycontactformation？processtemperature:~400degreeCImplantAnneal？thermalactivationofimplanteddopants？GaAs:Siforn-typedoping？shallowchannelimplant？contactimplant？processtemperature:~800-950degreeC
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