商标 | 晨立 |
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型号 | Cl |
规格 | Cl |
包装 | 木箱 |
产量 | 50 |
是否有现货 | 是 |
品牌 | 晨立 |
加工定制 | 是 |
最大电压 | 380 |
功率 | 14 |
额定温度 | 1280 |
主要用途 | 用于磁性材料(钐钴、钕铁硼等)及粉末冶金 |
型号 | Cl |
规格 | Cl |
商标 | 晨立 |
包装 | 木箱 |
用途:
该设备用于半导体芯片生产工艺过程中,在可控磁场中实现真空退火、真空合金、真空晶化等工艺。该系统具有 的磁场强度和温度控制系统和高真空系统。
主要技术参数:
结构型式:卧式热壁型
工作温度范围:500度,700度,1100度。
恒温区长度及精度:±0.5℃/800mm
气体流量设定精度:±1%F.S
气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
工艺均匀性:≤±5%
控制方式: 工业微机控制
真空度: 5*10-4 Pa
记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制