RTP快速退火炉主要技术参数1项目主要技术指标数据2规格型号CHY-T1100X-RTP3温度控制温度点1200℃4额定温度1100℃5稳定状态温度范围100～1000℃6温度测量精度±0.2℃7温度控制重复性±1℃8温度控制精确度±1℃9温场均匀性±2℃10温度状态工艺时间（S）2～100（100～1000℃）11 快升温速率500℃/S12降温速率（℃/S）1～200（通氮气，速率  ）13温度控制模式智能模糊全闭环控制14软件功能操控系统NBD-101智能系统15用户界面中英文互换16工艺菜单编辑触屏式图像操作界面17扩充端口可扩充真空测控和FFC供气18看门狗系统进入死循环时关闭主控制器19热电偶校准状态检测软件校准，方便准确，软件分析传感器状态是否正常20超高温状态检测软件检测出温度信息出现高温异常时，切断主回路21触摸屏尺寸7"LCD22物理指标功率15kw23额定电压AC380～400V，50Hz（60Hz定制）24传感器类型S型单铂铑25反应腔室内径尺寸Φ100X200mm26式样有效空间3.5"27真空度4.3×10-3Pa(外配分子泵）28抽气端口尺寸KF16（或Φ8mm宝塔嘴）29供气口尺寸Φ6.35mm双卡套30冷却方式自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi(0.14kg/cm2)–7psi(0.5kg/cm2)31外形净尺寸（mm）长920×深500×高56032重量净重65kg