13.56MHz自动匹配器 品质保证
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产地
天津市
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天津吉兆源科技有限公司

身份认证
主营产品:
射频电源,直流电源,射频离子源,ESC静电卡盘,自动匹配器,双频匹配器
- 产品参数 -
是否有现货
类型 射频电源
用途 工业用
冷却方式 风冷//水冷
输出电流 0.5A
输入电压 AC180-250V
输出频率 13.56MHz
- 产品详情 -
13.56MHz自动匹配器基本介绍
匹配器系统采用高速匹配算法,当接近匹配点时,这种高速匹配算 逐渐的减缓系统的速度,即使在“Q”值很高时也很容易找到匹配点。匹配器可以很快的将输入阻抗调整为50Ω,调整的准确性和可靠性可以很快的响应负载特性变化。
13.56MHz自动匹配器性能特点
该自动匹配器主要应用对象包括:刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子体增强、感应加热及PECVD等系统。
13.56MHz自动匹配器技术参数
  40KHz中频电源替代AEPEII高性能输出79234884
13.56MHz自动匹配器使用说明
 
13.56MHz自动匹配器采购须知
 
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