基本介绍 
 
 
 
介绍：
 
 
1、显微镜 LED曝光系统 UTA系列，为不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光设备。
 
 
2、使用金相显微镜和 LED 光源 DLP 光机，即可在涂布光阻的基板上进行数个微米 分辨率的曝光。
 
 
3、Pattern 形状可以使用计算机绘图自由制作。
 
 
4、可在一般环境操作，样品外观及尺寸限制小，价格比一般电子束曝光机便宜、方便性高，可以大幅降低研发成本。
 
 
 
 

  性能特点 
 
 
 
特色：
 
 
1、使用显微镜和 DLP 组合之曝光系统，可比既有系统拥有具竞争性之价格。
 
 
2、软件操作简便，可以自由绘制曝光Pattern。
 
 
3、透过物镜倍率选择，调整曝光范围大小与分辨率。
 
 
4、可以制造微米等级尺寸的 Pattern 。
 
 
 
 

  技术参数 
 

    
 

  使用说明 
 
 
 
使用案例：
 
 
1、形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量测用试料之电极。
 
 
2、Mo 取出薄片，形成特性评估的电极。
 
 
 
 

  采购须知 
 

  发货时间：30天