Femto光纤飞秒激光器_1035/517nm超快脉冲激光
 
Femto系列飞秒激光器是Huaray研发生产的稳定可靠的超快激光器产品，是GJ重点研发计划专项研发成果。采用全光纤放大结构，光、电一体化设计，脉宽小于350 fs，支持10μJ/50μJ/200μJ/400μJ。选配SHG模块，可支持517nm，红外/绿光双波段输出。该产品可广泛应用于半导体晶圆加工、陶瓷与聚合物加工、金刚石加工、新能源材料加工、难加工金属加工、高分子材料加工与处理等领域。也可用于：生物光子学和光遗传学、多光子显微成像、双光子聚合、太赫兹应用、超快光谱学、超快激光放大等科研领域。
 
产品特点：
 脉宽小于 350 fs，支持更多脉宽选择
 单脉冲能量高达 200 μJ
 支持多种 Burst Mode 组合
 包含脉冲选择器，用于按需脉冲分频
 坚固耐用的工业化一体设计
 可选装 SHG 模块以支持绿光输出
 
加工领域：
 半导体晶圆加工
 陶瓷与聚合物加工
 金刚石加工
 新能源材料加工
 难加工金属加工
 高分子材料加工与处理
 硬脆性材料切割、钻孔、焊接
 金属材料微、高分子材料加工
 复合薄膜材料加工
 新能源材料加工
 医疗器械制造
 光纤光栅刻写加工
 
科研领域：
 微纳米结构加工
 生物光子学和光遗传学
 多光子显微成像
 双光子聚合
 太赫兹应用
 超快光谱学
 超快激光放大
 
参数指标：
 
  
 
 
  
指标
 
  
Thor-1035-10-10
 
  
Thor-517-4-4
 
  
Thor-1035-10-10 B
 
  
Jaina-1035-50-40
 
  
Jaina-517-20-15
 
  
Rexxar-1035-200-40
 
  
Rexxar-517-75-15
 
  
Rexxar-1035-80-60
 
  
Rexxar-517-32-24
 
  
Rexxar2-1035-400-60
 
 
  
 
 
  
 
   
型号
 
   
Femto 10-1035
 
   
Femto 10-517
 
   
Femto 10-517-B
 
   
Femto 50-1035
 
   
Femto 50-517
 
   
Femto 200-1035
 
   
Femto 200-517
 
   
Femto 200-1035
 
   
Femto 200-517
 
   
Femto 400-1035
 
  
 
  
 
   
中心波长
 
   
1035 nm
 
   
517 nm
 
   
1035 nm
 
   
1035 nm
 
   
517nm
 
   
1035 nm
 
   
517nm
 
   
1035 nm
 
   
517nm
 
   
1035 nm
 
  
 
  
 
   
输出功率
 
   
10 W
 
   
4 W
 
   
10 W
 
   
40 W
 
   
15 W
 
   
40 W
 
   
15 W
 
   
60 W
 
   
20 W
 
   
60 W
 
  
 
  
 
   
最大单脉冲能量
 
   
10 μJ
 
   
4 μJ
 
   
10 μJ
 
   
50 μJ
 
   
20 μJ
 
   
200 μJ
 
   
75 μJ
 
   
80 μJ
 
   
30 μJ
 
   
400 μJ
 
  
 
  
 
   
最大脉冲串能量
 
   
 
 
   
~
 
   
 
 
   
200 μJ
 
   
~
 
   
~
 
   
~
 
   
320 μJ
 
   
~
 
   
1 mJ
 
  
 
  
 
   
重复频率
 
   
Single-Shot to 1 MHz
 
   
Single-Shot to 1 MHz
 
   
Single-Shot to 1 MHz
 
   
Single-Shot to 800 kHz
 
   
Single-Shot to 800 kHz
 
   
Single-Shot to 200 kHz
 
   
Single-Shot to 200 kHz
 
   
Single-Shot to 750 kHz
 
   
Single-Shot to 750 kHz
 
   
Single-Shot to150 kHz
 
  
 
  
 
   
脉冲宽度
 
   
<300 fs to 10 ps
 
   
<300 fs to 10 ps
 
   
<500 fs
 
   
<350 fs to 10 ps
 
   
<350 fs to 10 ps
 
   
<350 fs to 10 ps
 
   
<350 fs to 10 ps
 
   
<350 fs to 10 ps
 
   
<350 fs to 10 ps
 
   
<350 fs to 10 ps
 
  
 
  
 
   
光束质量
 
   
M2≤1.3 (Typical <1.2)
 
   
M2≤1.3 (Typical <1.2)
 
   
M2≤1.3 (Typical <1.2)
 
   
M2≤1.3 (Typical <1.2)
 
   
M2≤1.3 (Typical <1.2)
 
   
M2≤1.3 (Typical <1.2)
 
   
M2≤1.3 (Typical <1.2)
 
   
M2≤1.3 (Typical <1.2)
 
   
M2≤1.3 (Typical <1.2)
 
   
M2≤1.3 (Typical <1.2)
 
  
 
  
 
   
光束发散角
 
   
<1 mrad, 2θ
 
   
<1 mrad, 2θ
 
   
<1 mrad, 2θ
 
   
<1 mrad, 2θ
 
   
<1 mrad, 2θ
 
   
<1 mrad,2θ
 
   
<1 mrad, 2θ
 
   
<1 mrad,2θ
 
   
<1 mrad, 2θ
 
   
<1 mrad,2θ
 
  
 
  
 
   
光斑圆度
 
   
≥90%
 
   
≥90%
 
   
≥90%
 
   
≥90%
 
   
≥90%
 
   
≥85%
 
   
≥85%
 
   
≥85%
 
   
≥85%
 
   
≥85%
 
  
 
  
 
   
光斑直径
 
   
3±1 mm, 1/e2
 
   
3±1 mm, 1/e2
 
   
3±1 mm, 1/e2
 
   
3±1 mm, 1/e2
 
   
3±1 mm, 1/e2
 
   
3±1 mm, 1/e2
 
   
3±1 mm, 1/e2
 
   
3±1 mm, 1/e2
 
   
3±1 mm, 1/e2
 
   
3±1 mm, 1/e2
 
  
 
  
 
   
偏振态
 
   
Linear
 
   
Linear
 
   
Linear
 
   
Linear
 
   
Linear
 
   
Linear
 
   
Linear
 
   
Linear
 
   
Linear
 
   
Linear
 
  
 
  
 
   
功率稳定性
 
   
<2% RMS
 
   
<2% RMS
 
   
<2% RMS
 
   
<2% RMS
 
   
<2% RMS
 
   
<2% RMS
 
   
<2% RMS
 
   
<2% RMS
 
   
<2% RMS
 
   
<2% RMS
 
  
 
  
 
   
工作温度
 
   
10 to 30 °C
 
   
10 to 30 °C
 
   
10 to 40 °C
 
   
10 to 30 °C
 
   
10 to 30 °C
 
   
10 to 30 °C
 
   
10 to 30 °C
 
   
10 to 30 °C
 
   
10 to 30 °C
 
   
10 to 30 °C
 
  
 
  
 
   
电源
 
   
AC 220/110 V
 
   
AC 220/110 V
 
   
AC 220/110 V
 
   
AC 220/110 V
 
   
AC 220/110 V
 
   
AC 220/110 V
 
   
AC 220/110 V
 
   
AC 220/110 V
 
   
AC 220/110 V
 
   
AC 220/110 V