吉永商事BBS E-150/200/300日本6/8/12英寸硅片晶圆边缘抛光机,边抛机
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10000台
产地
日本
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上海瞻驰光电科技有限公司

主营产品:
研磨,抛光,划片,贴膜,撕膜,蒸发台,溅射台,CMP,干法刻蚀,干法去胶,离子注入,快速热退火
- 产品参数 -
是否有现货
品牌 BBS
自动化程度 全自动
是否加工定制
电流 交流
适用尺寸 6/8/12寸
- 产品详情 -
CP72


1. 设备名称

6英寸和8英寸硅片边缘抛光机 FINE SURFACE E-150/200 Type-II

(DRY-IN / WET-OUT, OF/VN 2 Stations Type)

2. 设备用途

本设备是对6/8/12英寸(150/200/300mm)硅片外周边缘用抛光布加压的方式来进行硅片边缘(缺口VN或者参考面OF)超精密抛光的设备。(备注:V-NOTCH缩写为VN即缺口;FLAT缩写为OF即参考面)

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