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小型干法刻蚀机RIE-10NR直开式
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- ≥1
- 供货总量
- 1111台
- 产地
- 上海市
- 发货期
- 自买家付款之日起120天内发货
- 产品参数 -
| 商标 | 有 |
|---|---|
| 型号 | 有 |
| 规格 | 有 |
| 包装 | 有 |
| 别名 | 刻蚀机 |
| 是否有现货 | 否 |
| 品牌 | samco |
| 自动化程度 | 半自动 |
| 是否加工定制 | 否 |
| 电流 | 交流 |
| 型号 | 有 |
| 规格 | 有 |
| 商标 | 有 |
| 包装 | 有 |
- 产品详情 -
小型干法刻蚀机RIE-10NR直开式基本介绍
小型干法刻蚀机RIE-10NR直开式性能特点反应腔体: Aluminum 400mm(W)x400mm(D)x170mm(H)下电极： Aluminum Φ240ｍｍ liquid cooled基板尺寸： 8寸1片，4寸2片，3寸4片，2寸7片WaferRF电源：13.56MHz Max 300WGas系统：2MFC controlled gas lines （Max 6）真空系统：分子泵+油转泵设备尺寸： 500mm(W)x920mm(D)x1500mm(H)(选配： 增加工艺气体线路，终点监测，室温循环系统小型干法刻蚀机RIE-10NR直开式技术参数小型干法刻蚀机RIE-10NR直开式使用说明小型干法刻蚀机RIE-10NR直开式采购须知
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