廊坊康华过滤科技有限公司生产VEECO以及AIXTRON公司MOCVD设备尾气处理用颗粒过滤器。公司生产严格按照ISO9001质量管理体系，从原材料到成品层层把关，从而提升产品的质量。美国进口滤材保证过滤器的使用寿命以及对于后端真空泵及管路的清洁，而且在高温环境下可长期使用，不会产生燃烧等意外。生产供应美国VEECO，德国AIXTRON公司各型号MOCVD设备用过滤器，型号齐全，保证质量，可有效保证过滤精度及效率，从而达到保护设备以及环保的双重目的AIXTRONHEPA滤芯，AIXTRONexhaust滤芯，AIXTRONparticle滤芯，ThomasSwan滤芯，供应的VEECO公司MOCVD设备K-465，K465i，E-300机型的滤芯，光电设备滤芯G5除尘滤芯外延设备滤芯纤维折叠滤芯。LED设备用各类过滤器，型号齐全，质量保证，可有效保护设备  。采用304不锈钢材质、进口玻璃纤维，耐高温性好，抗酸碱。产品特性：1、采用两级过滤工艺，分级过滤杂质、有效去除不同大小的颗粒杂质。2、波纹工艺，有效过滤面积增加，容污能力强，使用周期长。3、滤料采用玻纤滤料，具耐高温、耐腐蚀，长期使用温度可达250度以上。4、专用的高精度过滤材料，空隙均匀，过滤精度高，有效保护设备。气体输运系统的作用是把包括载气和源气在内的所有气体输送至腔体参与反应，并把反应后的气体输送至排气管路进行尾气处理。气体输运包括源供给系统，反应室内多余的气体带入尾气处理系统。由于腔体内管路很复杂，而且避免MO源的壁面沉积)对气体流经的关键管路持续吹扫。基于  考虑，设备需要定期进行泄漏检查。