MOCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition)是生长高质量半导体薄膜材料的技术，在LED、半导体激光器、太阳能电池等多个领域都有应用。现有MOCVD设备的成本非常高，且完全依赖进口，进行MOCVD设备研究对国内半导体产业、新能源领域以及    技术的发展都很有必要。MOCVD设备可以分为核心的腔体反应室、加热器、冷却系统、气体输运系统以及整体控制系统。本文重点研究了气体输运系统的设计，包括结构组成和部分控制难点，并对该系统今后的发展陈述了自己的观点。气体输运系统的作用是把包括载气和源气在内的所有气体输送至腔体参与反应，并把反应后的气体输送至排气管路进行尾气处理。气体输运包括源供给系统，反应室内多余的气体带入尾气处理系统。由于腔体内管路很复杂，而且避免MO源的壁面沉积)对气体流经的关键管路持续吹扫。基于  考虑，设备需要定期进行泄漏检查。由于MOCVD系统中所采用的大多数源均易燃易爆，雨其中的 化物源又有剧毒，因此，必须对反应过后的尾气进行处理。通常采用的处理方式是将尾气先通过微粒过滤器去除其中的微粒VeecoK465i外延设备滤芯产品说明：该产品系我司针对VeecoK465i设备设计生产的滤芯，安装于真空泵前，用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒；2只/组（粗滤、细滤）组成材料：1、滤材：耐高温玻纤滤料2、支撑材料：双面304#不锈钢金属网3、骨架：304#不锈钢菱形网4、密封垫圈：硅发泡橡胶垫片5、密封胶：硅橡胶规格：1、端盖：φ360*φ225，304#不锈钢2、耐高温密封垫：φ340*φ265*T53、折数：一级（100μm）:118折,折高65mm;二级（25μm）:88折，折高65mm过滤效率：1、粗滤：100μm=90%2、细滤：25μm=99.95%3、透气量：1000L/Sec/㎡产品特性：1、采用两级过滤工艺，分级过滤杂质、有效去除不同大小的颗粒杂质。2、波纹工艺，有效过滤面积增加，容污能力强，使用周期长。3、滤料采用玻纤滤料，具耐高温、耐腐蚀，长期使用温度可达250度以上。4、专用的高精度过滤材料，空隙均匀，过滤精度高，有效保护设备。