商标 | PIE |
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型号 | Tergeo |
规格 | 台 |
包装 | 纸箱 |
是否有现货 | 否 |
认证 | CE |
机器种类 | 等离子清洗机 |
清洗方式 | 利用等离子活性组分的性质来处理样品表面 |
清洗工序 | 利用等离子活性组分的性质来处理样品表面 |
燃料 | 电 |
原理 | 利用等离子活性组分的性质来处理样品表面 |
用途 | 用于工业,医疗,电子和汽车等行业 |
品牌 | 美国PIE |
工作频率 | 13.56MHz |
工作电压 | 220v |
功率 | 75w |
型号 | Tergeo |
规格 | 台 |
商标 | PIE |
包装 | 纸箱 |
型号:Tergeo一、Tergeo系列等离子清洗机应用等离子清洗机清除样品表面的污染物,清洗石英、蓝宝石及其它材料;清洗提高材料表面亲水性及疏水性,清洗生物芯片、微流控芯片,PDMS;表面活化:渲染表面的亲水性或疏水性,键合和沉积前的表面预处理表面聚合:沉积带官能分子团的聚合物,移植聚合物到活化后的材料表面;表面改性:在材料表面产生官能分子团,高分子材料表面修饰;去除光阻胶:产生表面活性功能组;去除表面残留微生物,医疗器械的消毒和杀菌;提高塑料,聚合物和合成材料粘附性;清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。二、Tergeo系列等离子清洗机的特点1、射频功率:RF功率小于0.5瓦特,极其细小或细微的样本2、操作方法:自动程序或工艺执行;手动操作。3、等离子传感器:双等离子体强度传感器,现场监控等离子体源和远程等离子体源。等离子体强度在LCD触摸屏上实时显示。4、 过程控制功能:压力传感器,温度传感器,在MFC气体流速米,双等离子体强度的传感器,自动阻抗匹配。三、技术参数1、控制系统1)操作界面:7英寸电阻触摸屏操作界面,支持多种工作方式。2)程序控制:可编程,总共有20个程序,每个程序有3个清洁步骤2、反应腔体1)腔体材质:圆柱形石英玻璃舱。2)腔体尺寸:内径:110毫米,外径:120毫米,深度:280毫米,壁厚:5毫米。3)前观测窗:前方开口,5毫米厚石英玻璃可视窗口,可观测内腔等离子状态,并带有防真空泄漏和避免高压的联锁装置,有效保护操作的安全性;3、射频电源1)射频频率:13.56MHz2)射频功率:标配0~75W;可选配0~150W。从0瓦到150瓦之间以1瓦间距连续可调,自动阻抗匹配。3)射频输出可以工作在脉冲方式,脉冲比可以从1/255调到255/255(连续输出)。4、等离子源1)等离子强度探测器实时测量等离子源强度。2)电阻耦合电离方式。3)外置电极设计,高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。5、气体控制1)气路控制:标配一路MFC;可选配三路MFC;2)质量流量计可以在0~100sccm之间精确控制气体流量;3)一路(Ventingandpurging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体。4)自动放气流程控制可以保护真空泵不受影响。5)高性能气压计可以测量1e-4Torr到大气压之间的气压。6)6mm气体接口。6、真空系统1)KF25法兰接口用来连接真空泵。2)真空要求:抽速:>1.7m3/h;3) 气压:<=200mTorr.
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