MOVPE设备概述：
 
    MOVPE，也就是大名鼎鼎的MOCVD(金属有机物化学气相沉积), 针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有加热的气体管路、5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、950度样品台三个气体环、PC全自动控制、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、 250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)，完全的互锁。
 
    目前，NANO-MASTER(那诺-马斯特)的这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统，该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。
 
 
 
 
 
 
MOVPE设备型号：
 
 
 
 
台式系统
 
 
 
 
5个带独立冷却槽的起泡器
 
 
 
 
加热的气体管路
 
 
 
 
950 °C样品台，2"晶圆片
 
 
 
 
3个气体环
 
 
 
 
RF等离子源，带淋浴头气体分布
 
 
 
 
工艺完成后N2自动冲洗
 
 
 
 
极限真空5x10-7Torr
 
 
 
 
250 l/s的涡轮分子泵串接无油干泵
 
 
 
 
通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
 
 
 
 
菜单驱动，4级密码访问控制
 
 
 
 
完整的联锁
 
 
 
 
 
 MOVPE设备配置：
 
 
 
 
独立系统
 
 
 
 
14"不锈钢立方体腔体
 
 
 
 
1次在8"样品台上处理1个6"晶圆片或在12"样品台上处理5片4"片子
 
 
 
 
加热的气体管路
 
 
 
 
RF等离子源，自动调谐
 
 
 
 
淋浴头气体分布
 
 
 
 
1100°C的旋转样品台
 
 
 
 
N2冲洗
 
 
 
 
手动或自动的晶圆片上下载
 
 
 
 
可以兼容到集群配置中
 
 
 
 
 
MOVPE设备应用：
 
 
 
 
3到5族半导体层
 
 
 
 
蓝色发光二极管
 
 
 
 
激光二极管
 
 
 
 
紫外-可见光谱光电中的氮化铟纳米棒
 
 
 
 
3D或2D材料中的二硫化钼、氮化硼、石墨烯