NOC-4000光学镀膜系统概述：NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供技术，在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光，然后把样片传送到二级腔体中对同一样片进行表面涂覆，整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用，同时具备各自的自动上/下载片功能。
 
 
 
 
 
 
NOC-4000光学镀膜系统应用：
 
 
 
 
光学涂层
 
 
 
 
溅射
 
 
 
 
离子束辅助沉积
 
 
 
 
离子束刻蚀清洗
 
 
 
 
离子束辅助反应刻蚀
 
 
 
 
红外涂层
 
 
 
 
表面处理
 
 
 
 
 
NOC-4000光学镀膜系统产品特点:
 
 
 
 
射频偏压样品台
 
 
 
 
膜厚监测仪
 
 
 
 
极限真空5x10-7Torr
 
 
 
 
高精度及高重复性
 
 
 
 
   膜层
 
 
 
 
原子级的洁净表面
 
 
 
 
原子级清洗和抛光
 
 
 
 
通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
 
 
 
 
自动上下载片
 
 
 
 
两个腔体之间自动传送
 
 
 
 
菜单驱动，4级密码访问保护
 
 
 
 
完整的联锁
 
 
 
 
占地面积46”D x 44”W
 
 
 
 
 
NOC-4000光学镀膜系统选配项:
 
 
 
 
向下/向上溅射
 
 
 
 
共溅射
 
 
 
 
DC，RF以及脉冲电源
 
 
 
 
离子束辅助沉积
 
 
 
 
电子束源
 
 
 
 
等离子源