简介
 
本机器由4根清洁滚轮和4根清洁胶纸构成，用来清除基板上的灰尘与垃圾。 清洁胶纸与清洁滚轮的抽屉式拉出机构，方便物品更换与保养。具有跳跃功能，滚轮在和曝光膜接触前，上方滚轮通过传感器自动感应并跳跃过曝光膜的前端有效防止了卷膜的发生。并且可以预防  基板的卷板现象发生。
 
 
 
特色
 
非接触式驱动+棘轮机构（MDC方式）
 
清洁部电机和清洁滚轮之间使用磁力驱动轮进行非接触式驱动：可以完全杜绝从驱动部产生垃圾。驱动部不使用任何齿轮，传送皮带等部品，消耗品少，维护成本低。另外，清洁滚轮的磁力驱动轮上装有棘轮机构，可以吸收粘尘机的前后机器的速度差，保持速度一致。
 
清洁滚轮的跳跃功能
 
当基板被传送到粘尘机入口时，通过传感器的感应使上滚轮自动跳跃过基板前端后回落接触基板，可以有效防止薄板卷板或卷膜现象发生。
 
维护保养的便利性
 
抽屉式胶纸和清洁滚轮的拉出机构便于清洁胶纸的切割与滚轮的更换；除静电棒可以从机器后方拔出，便于对除静电棒针头的清扫；清洁滚轮和驱动轴的连接方式采用连接器固定，和传统的作业时间缩短两倍以上，降低了人工维护成本。