小型快速退火炉
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100台
产地
北京市
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未填写
北京维意真空技术应用有限责任公司

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身份认证
主营产品:
ALD原子层沉积镀膜设备,PECVD设备,磁控溅射镀膜机,真空腔体,真空配件,管式炉,马弗炉,热压炉,PLD激光脉冲沉积镀膜设备,探针台,低空环境模拟器,ALD/MO源瓶
- 产品参数 -
种类 感应加热设备
- 产品详情 -
小型快速退火炉基本介绍

此款小型快速退火炉是集成仪 巧妙的结构设计和 的加热方式与一体,使得体积和功率都大幅减小的同时,升降温速率却比传统退火炉提升了数倍之多。它既可以通气氛又可以抽真空,满足了很多用户对小样品快速退火的工艺要求。

 

应用范围:

Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火

Ø 石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长

Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);

Ø 硅化 (Silicidation);

Ø 扩散 (Diffusion);

Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);

Ø 电极合金化 (Contact Alloying);

Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);




主要特点:

Ø 极速升温20℃/S,极速降温20℃/S;

Ø 控温稳定,恒温精度≤1℃

Ø 体积小巧,使用功率只有1kw;

Ø  光线反射效率,无需炉膛保温;



技术参数:

  产品名称

  mini快速退火炉

  产品型号

  RTP1000S

  极限温度

  1000

额定温度

1000

控温精度

±1℃

快升温速率

20℃/S(900-1000℃升温3-5℃/S)

快降温速率

随炉冷却75℃/min  物料台拉出降温800℃/min

控制方式

智能PID

加热方式

短波红外线加热

加热腔体结构

石英管

样品冷却

自然冷却或通入冷却气体

冷却气体调节

浮子流量计(100~1000ml/min)(选配)

超温保护

温度出现过高时切断主回路

  恒温区尺寸

  35mm

载料体尺寸

30*25mm

传感器类型

K

  真空系统

  1L/S 双级联真空系统 CHY-4C(选配)

  整机真空度

  3Pa(选配CHY-4C真空泵)

  抽气端口尺寸

  KF16

  供气口尺寸

  1/4英寸双卡套

  额定功率

  1.5kw

  额定电压

  AC220V,50Hz

  重量

  15kg

  配件

  坩埚钳1把,说明书1本。

外形尺寸

  610x400x410(长*宽*高)


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小型快速退火炉性能特点
 
小型快速退火炉技术参数
 
小型快速退火炉使用说明
 
小型快速退火炉采购须知
 
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