一、 技术特点
 
1、洁净真空环境
 
真空室内所有结构件采用金属元件和绝缘陶瓷，并经过严格的高真空抛光、去油、除气处理，保证腔体及炉内材料洁净无油，保证对处理产品   ，影响产品性能。
 
2、均温性优
 
多次验证的设计经验与现代有限元分析软件的结合设计，使炉温均匀性能在±5℃以内；
 
3、追溯性及严谨性
 
标配 PLC、真空数据记录仪等,实现设备的智能化、人性化、 自动化,并严格按照既定工艺完成对应实验、生产要求,达到数据上的严谨性、和客观性。
 
4、真空度优
 
设备摒弃传统真空炉的扩散泵加机械泵的抽气组合，采用分子泵加机械泵组合，清洁无油，不会出现扩散泵的返油现象，保证真空室及处理材料的洁净度。无需扩散泵的预热环节，启动时间快，真空获得时间短，大大提升生产效率。
 
5、压升率极低，控制在1pa/h以内
 
是否能将压升率做到极低的值是衡量真空技术水平的关键指标，对热处理产品质量及表面美观有直接影响，炉壳为全不锈钢材料，焊缝严格检漏，密封原件采用进口产品，并经特殊处理，保证将压升率控制在1pa/h以内，远超真空炉国内标准。
 
 
 
二.设备主要参数
 
 
 
 
  
 
   
 
序号
 
 
   
 
项  目
 
 
   
 
参    数
 
 
   
 
单位
 
 
  
 
  
 
   
 
1
 
 
   
 
炉型
 
 
   
 
卧式
 
 
   
 
/
 
 
  
 
  
 
   
 
2
 
 
   
 
控制方式
 
 
   
 
PLC+人机界面
 
 
   
 
/
 
 
  
 
  
 
   
 
3
 
 
   
 
抽气机组
 
 
   
 
分子泵+机械泵
 
 
   
 
/
 
 
  
 
  
 
   
 
4
 
 
   
 
电源要求
 
 
   
 
3相 380/220V 50Hz
 
 
   
 
/
 
 
  
 
  
 
   
 
5
 
 
   
 
总功率
 
 
   
 
32
 
 
   
 
kw
 
 
  
 
  
 
   
 
8
 
 
   
 
使用材质
 
 
   
 
炉体及法兰为304L材料
 
 
   
 
/
 
 
  
 
  
 
   
 
加热器为钼镧合金
 
 
   
 
/
 
 
  
 
  
 
   
 
隔热屏为钼镧合金加不锈钢
 
 
   
 
/
 
 
  
 
 
 
 
 
 
 
 
主要技术指标
 
 
 
 
 
  
 
   
 
序号
 
 
   
 
项   目
 
 
   
 
参    数
 
 
   
 
单位
 
 
  
 
  
 
   
 
1
 
 
   
 
加热区尺寸
 
 
   
 
600*390（L× ）
 
 
   
 
mm
 
 
  
 
  
 
   
 
2
 
 
   
 
工作区尺寸
 
 
   
 
400*200*200（L×W×H）
 
 
   
 
mm
 
 
  
 
  
 
   
 
3
 
 
   
 
工作温度
 
 
   
 
≤1200
 
 
   
 
℃
 
 
  
 
  
 
   
 
4
 
 
   
 
极限温度
 
 
   
 
≤1300
 
 
   
 
℃
 
 
  
 
  
 
   
 
4
 
 
   
 
均温性
 
 
   
 
±5（900℃，保温30分钟后测量）
 
 
   
 
℃
 
 
  
 
  
 
   
 
5
 
 
   
 
控温精度
 
 
   
 
±1
 
 
   
 
℃
 
 
  
 
  
 
   
 
6
 
 
   
 
极限真空度
 
 
   
 
6.67×10-4(空炉、冷态、经净化)
 
 
   
 
Pa
 
 
  
 
  
 
   
 
7
 
 
   
 
工作真空
 
 
   
 
6.67×10-3（空炉,900℃,保温1h）
 
 
   
 
Pa
 
 
  
 
  
 
   
 
9
 
 
   
 
系统抽速
 
 
   
 
主抽阀开启后20min内（1atm到1×10-3Pa）
 
 
   
 
Pa
 
 
  
 
  
 
   
 
10
 
 
   
 
升温速率
 
 
   
 
≤20℃/min
 
 
   
 
℃/min
 
 
  
 
  
 
   
 
11
 
 
   
 
温度测量
 
 
   
 
一点控温、一点金属屏温度监控，预留电极法兰口，用于温场测量
 
 
   
 
/
 
 
  
 
 
 
 
 
 
四、加热系统
 
1、加热区尺寸：600*390mm（L× ）
 
2、加热功率：25 KW
 
3、加热元件：钼镧合金
 
4、隔热组件：钼镧合金+不锈钢
 
5、温度测量：N型热电偶
 
6、控温精度：±1℃
 
7、升温速率 MAX：由室温升至1000℃小于90min（空炉） 建议10℃/min， 快≤20℃/min
 
8、加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用  99刚玉陶瓷，发热体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量极少。外框使用不锈钢（310S）板材料，并且焊接多道加强筋以保证不变形。
 
9、加热控制：采用PID智能控温模块设计，可编辑30段升温曲线，存贮多组工艺配方，组合PLC等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能，10寸液晶触摸屏显示操作，具有操作方便，功能强大，稳定性好等特点。
 
 
 
五、真空系统
 
1、真空配置： 一台复合分子泵FB-1600、一台旋片机械泵BSV-40；
 
2、极限真空：≤6.67*10-4Pa（空载、冷态、经净化）；
 
3、工作真空：≤6.67*10-3Pa；
 
4、真空测量： 复合真空计ZDF5227A
 
测量范围 1.0*105~1.0*10-5Pa
 
 
 
真空机组功率：4 Kw
 
 
6、优点：效率高、   、低能耗、低噪音。
 
7、压升率：1Pa/h