一.设备简介
 
VF1300-422(Q)型卧式真空炉是采用金属钼加热，用金属钼隔热屏隔热的卧式真空炉。该设备由真空腔体、加热室、真空系统、充气系统、电气控制系统、水冷系统组成。主要适用于真空部件钎焊、退火、气氛烧结、结晶、除气、等工艺。
 
二.技术参数
 
 
 
 
  
 
   
 
2.1设备主体参数
 
 
  
 
  
 
   
 
有效工作空间
 
 
   
 
400mm*200mm*200mm(L*W*H)
 
 
  
 
  
 
   
 
额定装载量
 
 
   
 
60KG
 
 
  
 
  
 
   
 
设备占地面积
 
 
   
 
2000mm(长)*2600mm(长)*2100mm(长)
 
 
  
 
  
 
   
 
2.2热区
 
 
  
 
  
 
   
 
极限温度
 
 
   
 
1300℃
 
 
  
 
  
 
   
 
工作温度
 
 
   
 
1200℃
 
 
  
 
  
 
   
 
加热功率
 
 
   
 
32KW
 
 
  
 
  
 
   
 
额定功率
 
 
   
 
45KW（不含水冷机）
 
 
  
 
  
 
   
 
控温精度
 
 
   
 
±1℃
 
 
  
 
  
 
   
 
温场
 
 
   
 
±5℃（空载、900℃保温60min后5点测量）
 
 
  
 
  
 
   
 
升温速率
 
 
   
 
≤20℃/min（空载）
 
 
  
 
  
 
   
 
加热元件
 
 
   
 
钼镧合金
 
 
  
 
  
 
   
 
加热元件分布类型
 
 
   
 
圆周加热
 
 
  
 
  
 
   
 
加热功率控制模式
 
 
   
 
数显SCR+变压器
 
 
  
 
  
 
   
 
控温模式
 
 
   
 
PID智能调节
 
 
  
 
  
 
   
 
2.3真空及压力
 
 
  
 
  
 
   
 
冷态极限真空度
 
 
   
 
≤8.0*10-4Pa(空载、清洁、脱气、干燥的条件下)
 
 
  
 
  
 
   
 
热态极限真空度
 
 
   
 
≤5.0*10-3Pa(空载、800℃保温60min)
 
 
  
 
  
 
   
 
复合真空计(air)
 
 
   
 
1.0*105Pa~1.0*10-5Pa
 
 
  
 
  
 
   
 
真空变送器（气氛）
 
 
   
 
100~100000Pa
 
 
  
 
  
 
   
 
压力变送器
 
 
   
 
±100KPa
 
 
  
 
  
 
   
 
最大允许工作压力
 
 
   
 
15KPa(表显，微正压)
 
 
  
 
  
 
   
 
真空抽速
 
 
   
 
1600L/S
 
 
  
 
  
 
   
 
真空效率
 
 
   
 
从105Pa抽至5.0*10-3Pa耗时≤20min
 
 
  
 
  
 
   
 
压升率
 
 
   
 
≤1Pa/h(空载、清洁、脱气、干燥的条件下)
 
 
  
 
  
 
   
 
2.4降温方式
 
 
  
 
  
 
   
 
降温方式
 
 
   
 
自然冷却
 
 
  
 
  
 
   
 
2.5电源
 
 
  
 
  
 
   
 
电源
 
 
   
 
三相五线  AC380V±10%  50HZ
 
 
  
 
  
 
   
 
2.6冷却气体和驱动气体
 
 
  
 
  
 
   
 
工艺气氛
 
 
   
 
Ar(干燥、纯度≥99.999%)
 
 
  
 
  
 
   
 
驱动气
 
 
   
 
压缩空气  0.4-0.6MPa
 
 
  
 
  
 
   
 
2.7水冷
 
 
  
 
  
 
   
 
水冷温度及用量
 
 
   
 
进水温度≤30℃，2.3T/h
 
 
  
 
  
 
   
 
水压
 
 
   
 
0.2-0.3MPa