4寸手动探针台 煜芯科技Y-4 晶圆芯片测试基本介绍 
 
 
 
名称：探针台
 
 
型号：Y-4
 
 
应用：晶圆、芯片、LED测试、场晶体管、IGBT、分立器件等
 
 
测试类型：IV/CV测试、RF测试、光电测试等
 
 
搭配仪器：吉时利2400系列、4200系列、安捷伦B2900系列、1500系列等
 
 
 
 4寸手动探针台 煜芯科技Y-4 晶圆芯片测试性能特点 
 
 
     探针台，满足手动探针台的测试需求，可测4英寸晶圆，移动行程、观察视野、扎针范围可覆盖整个4英寸晶圆，可升级高温、射频、光纤测试 
 
 
 4寸手动探针台 煜芯科技Y-4 晶圆芯片测试技术参数 
 
 
 
 
  
 
   
 
    
 
规格
 
 
    
 
标准配置
 
 
    
 
可选配置
 
 
   
 
   
 
    
 
台
 体
 
 
    
 
样品台
 
 
    
 
4英寸
 
 
    
 
6英寸
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台材质
 
 
    
 
不锈钢
 
 
    
 
铝合金、黄铜镀金
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台是否接地
 
 
    
 
样品台对地绝缘，可做背电极使用
 
 
    
 
样品台接地
 
 
   
 
   
 
    
 
样品吸附
 
 
    
 
真空吸附，三个独立开关控制
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台XY移动行程
 
 
    
 
101mm*101mm
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台XY移动精度
 
 
    
 
高精密导轨，10um移动精度
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台旋转
 
 
    
 
360度旋转，±10度可微调
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台升降
 
 
    
 
10mm升降行程
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
针座平台
 
 
    
 
含磁不锈钢，表面电镀防生锈氧化
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
探
 针
 座
 
 
    
 
探针座数量
 
 
    
 
2个
 
 
    
 
3至6个
 
 
   
 
   
 
    
 
探针座移动行程
 
 
    
 
XYZ均为12mm
 
 
    
 
25mm*25mm*12mm
 
 
   
 
   
 
    
 
探针座移动精度
 
 
    
 
2.0um
 
 
    
 
5.0um、1.0um、0.7um、0.6um、0.5um
 
 
   
 
   
 
    
 
探针座测试类型
 
 
    
 
直流测试
 
 
    
 
射频测试、光谱测试
 
 
   
 
   
 
    
 
探
 针
 夹
 具
 
 
    
 
探针夹具数量
 
 
    
 
2个
 
 
    
 
3至6个
 
 
   
 
   
 
    
 
探针夹具接头
 
 
    
 
BNC三轴公
 
 
    
 
BNC同轴公、香蕉头、SMA
 
 
   
 
   
 
    
 
探针固定方式
 
 
    
 
管状固定
 
 
    
 
弹簧固定
 
 
   
 
   
 
    
 
可耐电压
 
 
    
 
1000V
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
可耐电流
 
 
    
 
10A
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
漏电精度
 
 
    
 
100fA
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
探
 针
 
 
    
 
探针材质
 
 
    
 
钨钢
 
 
    
 
铍铜、镀金
 
 
   
 
   
 
    
 
探针针尖
 
 
    
 
针尖半径0.5um至100um可选
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
探针类型
 
 
    
 
直流探针
 
 
    
 
射频探针
 
 
   
 
   
 
    
 
显
 微
 镜
 
 
    
 
显微镜类型
 
 
    
 
三目体视显微镜
 
 
    
 
单筒显微镜
 
 
   
 
   
 
    
 
显微镜倍率
 
 
    
 
16X-100X
 
 
    
 
10X-400X
 
 
   
 
   
 
    
 
显微镜移动
 
 
    
 
绕立柱360度旋转，视野可覆盖整个样品台
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
显微镜升降
 
 
    
 
50mm
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
工业
 相机
 
 
    
 
显示器
 
 
    
 
11.6寸
 
 
    
 
21寸等其他尺寸
 
 
   
 
   
 
    
 
工业相机
 
 
    
 
1200万像素，HDMI高清接头
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
拍照、录像
 
 
    
 
可拍照、录像
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
测量
 
 
    
 
接电脑可测量
 
 
    
 
直接在显示器上测量
 
 
   
 
   
 
    
 
保存
 
 
    
 
SD卡保存
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
真空泵
 
 
    
 
真空泵
 
 
    
 
静音无油
 
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
 
 
 
   
 
   
 
    
 
其他可选配置：屏蔽箱、光学平台、高温配件、射频配件、光纤配件、转接头、转接线
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 4寸手动探针台 煜芯科技Y-4 晶圆芯片测试使用说明 
 

    
 
 
 4寸手动探针台 煜芯科技Y-4 晶圆芯片测试采购须知