全自动RCA清洗机-苏州尚纯基本介绍 
 
 
 
全自动RCA清洗机
 
 
适用产业：半导体等
 
 
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
 
 
 
  
 
   
 
    
 
项目
 
 
    
 
数据
 
 
   
 
   
 
    
 
适用对象
 
 
    
 
硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
其它衬底晶片
 
 
   
 
   
 
    
 
基本规格
 
 
    
 
机台封面：瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm）
 
机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材
 
机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）Or China 钢化玻璃（厚度≥2mm）
 
 
   
 
   
 
    
 
选配模块
 
 
    
 
     
 
      
腐蚀液恒温系统 
 
      
腐蚀液循环过滤系统
 
      
超（兆声）系统 
 
      
全自动供液系统
 
      
全自动烘干系统
 
      
消防系统
 
      
可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理
 
     
 
 
   
 
   
 
    
 
机台特点
 
 
    
 
     
 
      
刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性
 
      
QDR冲洗模块非常见排序式，可根据制程工艺设定
 
      
集成自动干燥系统
 
      
管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品
 
      
保修便利，非库存品工厂内均建立  库存品
 
      
全程自动化控制，几何曲线加减速运动，冲击小运行平稳，机械臂定位精度高
 
      
多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储
 
      
作业区内有害气体多种  主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身  
 
      
客制化设计能力佳，搞设计能力满足客户制程工艺需要
 
     
 
 
   
 
   
 
    
 
机械臂装置
 
 
    
 
Robot的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内）
 
机械手传送定位精度 ≤0.3mm
 
机械臂走向 右进做出或左进右出
 
 
   
 
   
 
    
 
制程控制
 
 
    
 
PLC控制方式
 
 
   
 
   
 
    
 
操作界面
 
 
    
 
全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏）
 
 
   
 
   
 
    
 
槽体数量
 
 
    
 
根据制程要求选择定制
 
 
   
 
   
 
    
 
设备制造
 
 
    
 
苏州尚纯半导体设备有限公司
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 全自动RCA清洗机-苏州尚纯性能特点 
 
 
 
全自动RCA清洗机
 
 
适用产业：半导体等
 
 
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
 
 
 
  
 
   
 
    
 
项目
 
 
    
 
数据
 
 
   
 
   
 
    
 
适用对象
 
 
    
 
硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
其它衬底晶片
 
 
   
 
   
 
    
 
基本规格
 
 
    
 
机台封面：瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm）
 
机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材
 
机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）Or China 钢化玻璃（厚度≥2mm）
 
 
   
 
   
 
    
 
选配模块
 
 
    
 
     
 
      
腐蚀液恒温系统 
 
      
腐蚀液循环过滤系统
 
      
超（兆声）系统 
 
      
全自动供液系统
 
      
全自动烘干系统
 
      
消防系统
 
      
可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理
 
     
 
 
   
 
   
 
    
 
机台特点
 
 
    
 
     
 
      
刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性
 
      
QDR冲洗模块非常见排序式，可根据制程工艺设定
 
      
集成自动干燥系统
 
      
管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品
 
      
保修便利，非库存品工厂内均建立  库存品
 
      
全程自动化控制，几何曲线加减速运动，冲击小运行平稳，机械臂定位精度高
 
      
多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储
 
      
作业区内有害气体多种  主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身  
 
      
客制化设计能力佳，搞设计能力满足客户制程工艺需要
 
     
 
 
   
 
   
 
    
 
机械臂装置
 
 
    
 
Robot的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内）
 
机械手传送定位精度 ≤0.3mm
 
机械臂走向 右进做出或左进右出
 
 
   
 
   
 
    
 
制程控制
 
 
    
 
PLC控制方式
 
 
   
 
   
 
    
 
操作界面
 
 
    
 
全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏）
 
 
   
 
   
 
    
 
槽体数量
 
 
    
 
根据制程要求选择定制
 
 
   
 
   
 
    
 
设备制造
 
 
    
 
苏州尚纯半导体设备有限公司
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 全自动RCA清洗机-苏州尚纯技术参数 
 
 
 
全自动RCA清洗机
 
 
适用产业：半导体等
 
 
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
 
 
 
  
 
   
 
    
 
项目
 
 
    
 
数据
 
 
   
 
   
 
    
 
适用对象
 
 
    
 
硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
其它衬底晶片
 
 
   
 
   
 
    
 
基本规格
 
 
    
 
机台封面：瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm）
 
机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材
 
机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）Or China 钢化玻璃（厚度≥2mm）
 
 
   
 
   
 
    
 
选配模块
 
 
    
 
     
 
      
腐蚀液恒温系统 
 
      
腐蚀液循环过滤系统
 
      
超（兆声）系统 
 
      
全自动供液系统
 
      
全自动烘干系统
 
      
消防系统
 
      
可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理
 
     
 
 
   
 
   
 
    
 
机台特点
 
 
    
 
     
 
      
刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性
 
      
QDR冲洗模块非常见排序式，可根据制程工艺设定
 
      
集成自动干燥系统
 
      
管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品
 
      
保修便利，非库存品工厂内均建立  库存品
 
      
全程自动化控制，几何曲线加减速运动，冲击小运行平稳，机械臂定位精度高
 
      
多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储
 
      
作业区内有害气体多种  主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身  
 
      
客制化设计能力佳，搞设计能力满足客户制程工艺需要
 
     
 
 
   
 
   
 
    
 
机械臂装置
 
 
    
 
Robot的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内）
 
机械手传送定位精度 ≤0.3mm
 
机械臂走向 右进做出或左进右出
 
 
   
 
   
 
    
 
制程控制
 
 
    
 
PLC控制方式
 
 
   
 
   
 
    
 
操作界面
 
 
    
 
全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏）
 
 
   
 
   
 
    
 
槽体数量
 
 
    
 
根据制程要求选择定制
 
 
   
 
   
 
    
 
设备制造
 
 
    
 
苏州尚纯半导体设备有限公司
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 全自动RCA清洗机-苏州尚纯使用说明 
 
 
 
全自动RCA清洗机
 
 
适用产业：半导体等
 
 
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
 
 
 
  
 
   
 
    
 
项目
 
 
    
 
数据
 
 
   
 
   
 
    
 
适用对象
 
 
    
 
硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
其它衬底晶片
 
 
   
 
   
 
    
 
基本规格
 
 
    
 
机台封面：瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm）
 
机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材
 
机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）Or China 钢化玻璃（厚度≥2mm）
 
 
   
 
   
 
    
 
选配模块
 
 
    
 
     
 
      
腐蚀液恒温系统 
 
      
腐蚀液循环过滤系统
 
      
超（兆声）系统 
 
      
全自动供液系统
 
      
全自动烘干系统
 
      
消防系统
 
      
可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理
 
     
 
 
   
 
   
 
    
 
机台特点
 
 
    
 
     
 
      
刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性
 
      
QDR冲洗模块非常见排序式，可根据制程工艺设定
 
      
集成自动干燥系统
 
      
管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品
 
      
保修便利，非库存品工厂内均建立  库存品
 
      
全程自动化控制，几何曲线加减速运动，冲击小运行平稳，机械臂定位精度高
 
      
多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储
 
      
作业区内有害气体多种  主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身  
 
      
客制化设计能力佳，搞设计能力满足客户制程工艺需要
 
     
 
 
   
 
   
 
    
 
机械臂装置
 
 
    
 
Robot的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内）
 
机械手传送定位精度 ≤0.3mm
 
机械臂走向 右进做出或左进右出
 
 
   
 
   
 
    
 
制程控制
 
 
    
 
PLC控制方式
 
 
   
 
   
 
    
 
操作界面
 
 
    
 
全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏）
 
 
   
 
   
 
    
 
槽体数量
 
 
    
 
根据制程要求选择定制
 
 
   
 
   
 
    
 
设备制造
 
 
    
 
苏州尚纯半导体设备有限公司
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 全自动RCA清洗机-苏州尚纯采购须知 
 
 
 
全自动RCA清洗机
 
 
适用产业：半导体等
 
 
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
 
 
 
  
 
   
 
    
 
项目
 
 
    
 
数据
 
 
   
 
   
 
    
 
适用对象
 
 
    
 
硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
 
其它衬底晶片
 
 
   
 
   
 
    
 
基本规格
 
 
    
 
机台封面：瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm）
 
机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材
 
机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）Or China 钢化玻璃（厚度≥2mm）
 
 
   
 
   
 
    
 
选配模块
 
 
    
 
     
 
      
腐蚀液恒温系统 
 
      
腐蚀液循环过滤系统
 
      
超（兆声）系统 
 
      
全自动供液系统
 
      
全自动烘干系统
 
      
消防系统
 
      
可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理
 
     
 
 
   
 
   
 
    
 
机台特点
 
 
    
 
     
 
      
刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性
 
      
QDR冲洗模块非常见排序式，可根据制程工艺设定
 
      
集成自动干燥系统
 
      
管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品
 
      
保修便利，非库存品工厂内均建立  库存品
 
      
全程自动化控制，几何曲线加减速运动，冲击小运行平稳，机械臂定位精度高
 
      
多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储
 
      
作业区内有害气体多种  主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身  
 
      
客制化设计能力佳，搞设计能力满足客户制程工艺需要
 
     
 
 
   
 
   
 
    
 
机械臂装置
 
 
    
 
Robot的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内）
 
机械手传送定位精度 ≤0.3mm
 
机械臂走向 右进做出或左进右出
 
 
   
 
   
 
    
 
制程控制
 
 
    
 
PLC控制方式
 
 
   
 
   
 
    
 
操作界面
 
 
    
 
全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏）
 
 
   
 
   
 
    
 
槽体数量
 
 
    
 
根据制程要求选择定制
 
 
   
 
   
 
    
 
设备制造
 
 
    
 
苏州尚纯半导体设备有限公司