芯茂-表面缺陷检测装置-魔镜基本介绍应用魔镜的原理，高灵敏度地检查镜面样品的表面状态。可以高灵敏度地检测样品表面上的不均匀性，翘曲，抛光不均匀性等，检测结果在监视器上用亮度（白）和暗度（黑）表示。检查可以在非接触和非破坏性的情况下进行，并且可以立即确认样品的表面状态。这是一款使用免维护光学系统，可操作性优异的设备。芯茂-表面缺陷检测装置-魔镜性能特点1、利用魔镜原理，观察那些目视无法确认的晶圆镜面样品表面上的micro缺陷。2、凹面缺陷则较为明亮、凸面缺陷则较为暗淡。通过明暗测定缺陷种类、缺陷位置、以及缺陷尺寸。3、可检测晶圆表面的Dimples、凹凸、研削痕、研磨痕、滑移线、Edge缺陷、翘曲、变形等异常。芯茂-表面缺陷检测装置-魔镜技术参数芯茂-表面缺陷检测装置-魔镜使用说明1、切割，研削，研磨，抛光，外延及退火后硅片表面检测（量产用）2、SiC，GaN等化合物晶圆表面缺陷检测3、蓝宝石，水晶，玻璃晶圆的表面以及内部缺陷检测4、各工程的晶圆抽样检测用（线下用）芯茂-表面缺陷检测装置-魔镜采购须知