高精度大型真空探针台基本介绍 
 

  高精度大型真空探针台，移动滑块精度0.01mm，探针尖10μm，镀金钨针，物镜放大倍数19-135倍 
 
 
 高精度大型真空探针台性能特点 
 
 
 
高精度大型真空探针台，移动滑块精度0.01mm，探针尖10μm，镀金钨针，物镜放大倍数19-135倍
 
 
-196℃到400℃(液氮)；
 
 
超高温度分辨率；
 
 
低温具有稳定性
 
 
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
 
 
   晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
 
 
 
 高精度大型真空探针台技术参数 
 
 
 
高精度大型真空探针台
 
 
 
 
 
 
  
 
   
 
    
 
真空腔体
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体材质
 
 
    
 
304不锈钢
 
 
   
 
   
 
    
 
上盖开启
 
 
    
 
铰链侧开
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台材质
 
 
    
 
304不锈钢
 
 
   
 
   
 
    
 
内腔体尺寸
 
 
    
 
φ160x90mm
 
 
   
 
   
 
    
 
观察窗尺寸
 
 
    
 
Φ70mm
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台尺寸
 
 
    
 
φ60mm
 
 
   
 
   
 
    
 
观察窗热台间距
 
 
    
 
75mm
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台温度
 
 
    
 
﹣196~350℃
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台温控误差
 
 
    
 
±1℃
 
 
   
 
   
 
    
 
真空度
 
 
    
 
机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
允许正压
 
 
    
 
≤0.1MPa
 
 
   
 
   
 
    
 
真空抽气口
 
 
    
 
KF25真空法兰
 
 
   
 
   
 
    
 
气体进气口
 
 
    
 
3mm-6mm卡套接头
 
 
   
 
   
 
    
 
电信号接头
 
 
    
 
SMA转BNC X 4
 
 
   
 
   
 
    
 
电学性能
 
 
    
 
绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V
 
 
   
 
   
 
    
 
探针数量
 
 
    
 
4探针
 
 
   
 
   
 
    
 
探针材质
 
 
    
 
钨针  
 
 
   
 
   
 
    
 
探针尖
 
 
    
 
10μm
 
 
   
 
   
 
    
 
探针移动平台
 
 
   
 
   
 
    
 
X轴移动行程
 
 
    
 
30mm    ±15mm
 
 
   
 
   
 
    
 
X轴控制精度
 
 
    
 
≤0.01mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Y轴移动行程
 
 
    
 
13mm    ±12.5mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Y轴控制精度
 
 
    
 
≤0.01mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Z轴移动行程
 
 
    
 
13mm    ±12.5mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Z轴控制精度
 
 
    
 
≤0.01mm
 
 
   
 
   
 
    
 
电子显微镜
 
 
   
 
   
 
    
 
显微镜类别
 
 
    
 
物镜
 
 
   
 
   
 
    
 
物镜倍数
 
 
    
 
0.7-4.5倍
 
 
   
 
   
 
    
 
工作间距
 
 
    
 
90mm
 
 
   
 
   
 
    
 
相机
 
 
    
 
sony 高清
 
 
   
 
   
 
    
 
像素
 
 
    
 
1920※1080像素
 
 
   
 
   
 
    
 
图像接口
 
 
    
 
VGA
 
 
   
 
   
 
    
 
LED可调光源
 
 
    
 
有
 
 
   
 
   
 
    
 
显示屏
 
 
    
 
8寸
 
 
   
 
   
 
    
 
放大倍数
 
 
    
 
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 
 
 
 高精度大型真空探针台使用说明 
 

    
 
 
 高精度大型真空探针台采购须知