小型真空钨舟热蒸镀仪基本介绍 
 

  小型真空钨舟热蒸镀仪KT-Z1650CVD是一款小型多功能镀膜仪，额定1800度高温，自动样品挡板，靶台旋转，触摸屏多段控制，工艺储存等功能。 
 
 
 小型真空钨舟热蒸镀仪性能特点 
 
 
 
小型真空钨舟热蒸镀仪KT-Z1650CVD
 
 
是一款小型多功能镀膜仪，额定1800度高温，自动样品挡板，靶台旋转，触摸屏多段控制，工艺储存等功能。
 
 
正空蒸发镀膜包括以下基本过程：
 
 
（1）加热蒸发过程：包括由凝聚相转变为气相的过程，每种蒸发物质在不同的温度有不同的饱和蒸气压。
 
 
（2）气态原子或分子在蒸发源与基片之间运输，即原子或分子在环境气氛中的飞行过程。
 
 
（3）蒸发原子或分子在基片表面张得沉积过程。即是蒸发，凝聚，成核，核生长，形成连续的膜。由于基板温度远
 
 
低于基板温度远低于蒸发源温度，因此，气态分子在基片表面将发生直接由气态到固态的相转变过程。
 
 
 
 
 
 
 小型真空钨舟热蒸镀仪技术参数 
 
 
 
小型真空钨舟热蒸镀仪KT-Z1650CVD
 
 
 
  
 
   
 
    
 
控制方式
 
 
    
 
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
 
 
   
 
   
 
    
 
加热方式
 
 
    
 
数字式功率调整器
 
 
   
 
   
 
    
 
镀膜功能
 
 
    
 
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
 
 
   
 
   
 
    
 
最大功率
 
 
    
 
≤1200W
 
 
   
 
   
 
    
 
最大输出电压电流
 
 
    
 
电压≤12V  电流≤120A
 
 
   
 
   
 
    
 
真空度
 
 
    
 
机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤10^-3Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
挡板类型
 
 
    
 
电控
 
 
   
 
   
 
    
 
真空腔室
 
 
    
 
石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台
 
 
    
 
可旋转φ62  （最大可安装φ50基底）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台转速
 
 
    
 
8转/分钟
 
 
   
 
   
 
    
 
样品蒸发源调节距离
 
 
    
 
70-140mm
 
 
   
 
   
 
    
 
蒸发温度调节
 
 
    
 
≤1800℃
 
 
   
 
   
 
    
 
支持蒸发坩埚类型
 
 
    
 
钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  
 
 
   
 
   
 
    
 
预留真空接口
 
 
    
 
KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口
 
 
   
 
   
 
    
 
可选配扩展
 
 
    
 
机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa）  
 
数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）
 
分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 
 
 
 小型真空钨舟热蒸镀仪使用说明 
 

    
 
 
 小型真空钨舟热蒸镀仪采购须知