美国AE10K中频电源 40KHZ磁控溅射电源 基本介绍 
 

  美国AE公司 中频电源PE II 
 
 性能： 
 
 1.程序自动保护功能 
 
 2.控制信号源：模拟/数字端口或前面板控制 
 
 3.调节模式：功率，电压或者电流 
 
 4.冷却及周围环境温度：进口端冷却水的温度在+5℃到+30 ℃之间，周围环境不能超过+40℃ 
 
 5.***的适应性和模块性 
 
 6.高的功率密度 
 
 
 美国AE10K中频电源 40KHZ磁控溅射电源 性能特点 
 

  型号 5KW 10KW 
 
 源电压 180 ~ 230 VAC (常用208V)；3φ（带地线，无零线） 
 
    85%（全功率输出） 
 
 功率因数 0.90（全功率输出） 
 
 输出频率 40 KHZ ±0.01% 
 
 输出功率 5 KW和10 KW 
 
 尺寸 177mm(高)×482.6mm（宽）×（厚） 
 
 重量 40.8kg 
 
 调节模式 功率，电压或电流 
 
 测量度 ±1% 
 
 工作环境温度 0到40℃ 
 
 冷却装置 水冷 
 
 温度 进口端5到30℃ 
 
 流量 7.57 l/min 
 
 压力 6.9 bars 
 
 
 美国AE10K中频电源 40KHZ磁控溅射电源 技术参数 
 
 
  
  
  
  
  
  
  
  
 
 
 美国AE10K中频电源 40KHZ磁控溅射电源 使用说明 
 

    
 
 
 美国AE10K中频电源 40KHZ磁控溅射电源 采购须知