型号 | N12.X/N12.Z/N12.XY/N |
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型号 | N12.X/N12.Z/ |
N12系列压电扫描台为1~3维并联式平移扫描台,台体中心方形通孔,内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化结构,具有 的导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点,平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈,实现满行程0.04%的重复定位精度。
1~3维扫描台
N12系列压电扫描台包含X、Z、XY、XZ、XYZ五种规格型号。
闭环传感定位精度高
N12系列压电扫描台配置高分辨率传感器,对位置实时检测并反馈到压电控制器,控制器通过PID算法调整电压修正位移,从而实现高精度定位。
压电扫描台配套芯明天E72系列模块化控制器应用于光学显微成像,实现XYZ轴精密扫描。
小体积、大位移、中心通孔
N12系列纳米定位台体积非常小巧,位移可达110μm。 的平行运动学设计原理,使得平台可以实现XYZ轴高速精密运动。这款产品的应用非常广泛,从光学研究到工业化OEM系统等。
该系列压电扫描台的通光孔为45×45mm。高刚度以及优异的直线性使其成为光学、激光领域纳米级精密定位应用。
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