半导体氮化铝 氧化 宽禁带材料真空气氛烧结炉
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产地
江苏省/苏州市
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昆山艾科迅真空装备有限公司

主营产品:
马弗炉,箱式高温炉,真空管式炉,真空气氛炉,3D打印工件热处理设备,硬质合金刀具钎焊设备,真空电阻炉,真空回火炉,PECVD气相沉积设备,弹簧炉,铍铜炉,根管锉炉
- 产品参数 -
商标 Acx
型号 Vf2000-2030
规格 200*300mm
包装 国标
产量 11
是否有现货
加工定制
品牌 Acx
功率 18kw
最大电压 380V
额定温度 1000℃
主要用途 真空烧结、真空退火
型号 Vf2000-2030
规格 200*300mm
商标 Acx
包装 国标
- 产品详情 -

<="" alt="2030" src="https://image.cn.made-in-china.com/prod/000-163030845.jpg" tempid="163030845" srcid="jtPJgIQrRMkn" width="500px" height="500px" />

VF2200-2030 2200℃碳化硅纯化炉设备介绍 晶体高温生长炉

1. 开炉取料型式:立式下出料

2. 主要技术参数

有效温区尺寸

Φ300×400mm

坩埚外径尺寸

加热器

石墨板式(主加热器+下补偿加热器)

东海碳素G330

隔热屏材料

高纯石墨化软毡+硬毡

吴羽化学R100

装炉量

300Kg

 

温度

2200℃

 

工作温度

2100℃

1500℃测温环测温

加热功率

135KVA

 

升温速率

0~20℃/min(可调)

 

控温精度

±0.1% F S

 

极限真空度

5x10-3Pa

 

工作真空度

5x10-2Pa

 

压升率

<0.5Pa/h

 

工艺气氛

真空/氩气

单气路质量流量计

炉内压力

压力0.02Mpa

充气压力0.05Mpa

 

 

3. 结构说明

该设备包含炉体、支撑炉体的架台组件、炉门锁紧机构、炉门升降机构、真空系统、热场、温度测量与控制系统、电气控制系统、冷却水系统、压缩空气系统以及工艺气氛系统。

VF2200-2030 设备简介使用说明
安全系统包括:停水、超温、加热过流、旋片泵、分子泵,设备具有自检、故障自诊断、自动保护、防止误操作等功能。并具有声光报警提示和具备相应的联锁、互锁保护。
VF2200-2030 采购须知

1、质保期从双方指定的验收代表签署验收报告之日开始12个月,或者从产品到达需方现场之日起13个月,以 到达的一个时间为准。
2、易损件,例如热电偶、真空规管、发热体、熔断器、密封件、包装、垫片、润滑油、有机溶剂,不属于保修范围。
3、供方对零部件自然损耗引起的损失没有责任,对需方不正当的操作而引起损坏不承担责任,对需方改变设备的用途或处理不恰当的材料,使用非供方提供的硬件或软件而引起损坏不承担责任;其它与供方无关的影响而造成的损坏也不在供方责任范围之列。
4、严格执行国家相关产品质量要求,易损件除外,终身维修(维修按本公司有关规定或有关协议)。
5、在接到需方设备故障通知后,供方4小时内电话响应,48小时内到现场处理问题。

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