v数显热式气体质量流量控制器/流量计作为新型的精密气体流量调节控制装置主要是利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传递分布效应而制成，即热分布式流量计，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制输出的流量检测电压与流过通道的流量成比例。
 
 
   广泛应用于SPUTTER磁控溅射台、等离子刻蚀、石油化工、高校实验室、科研单位、航空  、光伏行业、半导体行业、真空镀膜行业、光电产业到工业工具的表面镀膜、PVD、CVD、MOCVD、氧化、离子注入、精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、食品及制药产业、气相色谱仪等相关行业。