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高纯高密度小晶粒钛铝合金靶材/铝钛合金靶材

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产地: 湖南省/长沙市

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长沙市啟睿新材料有限公司

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主营产品：: 溅射靶材,蒸发镀膜材料,半导体材料,太阳能光伏材料,金属粉末,氧化物粉末,各种金属制品,镀膜基片,坩埚,陶瓷材料

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- 产品参数 -

商标	AEM
型号	多种型号
规格	多种规格
包装	小件真空袋包装，外纸箱包装
是否有现货	是
材质	钛铝合金/铝钛合金
用途	广泛应用于工具表面高硬质膜层镀膜
型号	多种型号
规格	多种规格
商标	AEM
包装	小件真空袋包装，外纸箱包装

- 产品详情 -

钛铝合金靶材/铝钛合金靶材 
  
我司提供的钛铝靶材采用  的真空热压、热等静压工艺生产，产品包括矩形靶、圆弧靶和大长径比整体成形管靶等类型，具有成分比例范围宽（铝含量为10at%~90at%）、纯度和密度高、晶粒细小均匀、使用寿命长等优点。钛铝靶材典型的成分比例有33:67at%、50:50at%、30:70at%、70:30at%、20:80at%、40:60at%、50:50at%等，也可按照客户要求定制Ti-Al-X（X=Si、Cr、Y、B、V）等特殊成分和规格的靶材。广泛应用于工具表面高硬质膜层镀膜 
  
钛铝靶 
Titanium-aluminum target 
性能 
Product performance 
化学成分/at% 
Composition 
Ti33Al67 
Ti50Al50        
Ti70Al30 
纯度/%  
Purity 
99.8 
99.8 
99.8 
密度/g/cm3 
Density 
≥3.29 
≥3.60 
≥3.95 
晶粒度/μm 
Grain size 
≤100 
≤100 
≤100 
金属杂质总和/ppm 
Total content of metallic impurities 
≤2000 
≤2000 
≤2000 
热导率/W/m.K 
Thermal conductivity 
98 
70 
40 
热膨胀系数/1/K 
Coefficient of thermal expansion 
1.9×10-5 
1.75×10-5 
1.35×10-5 
规格尺寸/mm 
Size 
平面靶 
Planar target 
≤1500×500 
≤1500×500 
≤1500×500 
旋转靶 
Rotating target 
热等静压整体成形 
Integral formingby HIP 
长度Length≤2000 
厚度Thickness≤15 
热等静压整体成形 
Integral formingby HIP 
长度Length≤2000 
厚度Thickness≤15 
热等静压整体成形 
Integral formingby HIP 
长度Length≤2000 
厚度Thickness≤15 
  
TiAl (20:80at%) 
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
成分(elements) 
钛(Ti) 
铝（Al） 
硅(Si) 
铁（Fe） 
镁(Mg) 
铜(Cu) 
锰（Mn) 
碳(C) 
氯（Cl） 
氧(O) 
氮(N) 
测 试 值（wt%)       （Test values） 
30.67 
69.01 
0.075 
0.085 
0.03 
0.002 
0.004 
0.015 
0.013 
0.095 
0.0026 
密度（g/cm3）（Density) 
3.08 
　 
　 
　 
　 
　 
　 
　 
　 
　 
　 
TiAl (30:70at%) 
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
成分(elements) 
铬(Cr) 
铝（Al） 
硅(Si) 
铁（Fe） 
镁(Mg) 
铜(Cu) 
锰（Mn) 
碳(C) 
氯（Cl） 
氧(O) 
氮(N) 
测 试 值（wt%)       （Test values） 
43.1 
56.4 
0.066 
0.075 
0.03 
0.002 
0.008 
0.016 
0.013 
0.095 
0.003 
密度（g/cm3）（Density) 
3.24 
TiAl (33:67at%) 
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
成分(elements) 
铬(Cr) 
铝（Al） 
硅(Si) 
铁（Fe） 
镁(Mg) 
铜(Cu) 
锰（Mn) 
碳(C) 
硫（S） 
氧(O) 
氮(N) 
测 试 值（wt%)       （Test values） 
46.3 
53.2 
0.066 
0.075 
0.03 
0.002 
0.008 
0.016 
0.013 
0.095 
0.003 
密度（g/cm3）（Density) 
3.29 
TiAl (40:60at%) 
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
成分(elements) 
铬(Cr) 
铝（Al） 
硅(Si) 
铁（Fe） 
镁(Mg) 
铜(Cu) 
锰（Mn) 
碳(C) 
硫（S） 
氧(O) 
氮(N) 
测 试 值（wt%)       （Test values） 
54.2 
45.5 
0.075 
0.085 
0.03 
0.002 
0.004 
0.015 
0.013 
0.062 
0.0026 
密度（g/cm3）（Density) 
3.39 
TiAl (50:50at%) 
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
成分(elements) 
铬(Cr) 
铝（Al） 
硅(Si) 
铁（Fe） 
镁(Mg) 
铜(Cu) 
锰（Mn) 
碳(C) 
硫（S） 
氧(O) 
氮(N) 
测 试 值（wt%)       （Test values） 
63.7 
35.9 
0.075 
0.085 
0.03 
0.002 
0.004 
0.015 
0.013 
0.095 
0.0026 
密度（g/cm3）（Density) 
3.61 
TiAl (60:40at%) 
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
成分(elements) 
铬(Cr) 
铝（Al） 
硅(Si) 
铁（Fe） 
镁(Mg) 
铜(Cu) 
锰（Mn) 
碳(C) 
硫（S） 
氧(O) 
氮(N) 
测 试 值（wt%)       （Test values） 
72.49 
27.13 
0.075 
0.085 
0.03 
0.002 
0.004 
0.015 
0.013 
0.095 
0.0026 
密度（g/cm3）（Density) 
3.79 
TiAl (70:30at%) 
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
成分(elements) 
铬(Cr) 
铝（Al） 
硅(Si) 
铁（Fe） 
镁(Mg) 
铜(Cu) 
锰（Mn) 
碳(C) 
硫（S） 
氧(O) 
氮(N) 
测 试 值（wt%)       （Test values） 
80.27 
19.35 
0.075 
0.085 
0.03 
0.002 
0.004 
0.015 
0.013 
0.095 
0.0026 
密度（g/cm3）（Density) 
3.96 
  
我司默认钛铝系列合金靶材包括： 
Ti10% Al90%; Ti20% Al80%; Ti25% Al75%; Ti30% Al70%; 
Ti33% Al67%; Ti50% Al50%; Ti67% Al33%. 
其中高铝含量的 Ti30%Al70%;Ti33%Al67%; Ti50%Al50%等，其它配比可根据您的要求定制。