公司生产的  靶材采用  的热等静压工艺和热喷涂工艺生产，产品包括矩形靶、圆弧靶和管靶等类型，具有成分比例范围宽（铝含量为10at%~90at%）、纯度和密度高、晶粒细小均匀、使用寿命长等优点。  靶材典型的成分比例有90:10wt%、70:30wt%等，也可按照客户要求定制特殊成分和规格靶材。
 
 
 
 
  靶
 
Silicon-aluminum target
 
性能
 
Product performance
 
化学成分/at%
 
Composition
 
   Si90Al10
 
Si70Al30
 
纯度/%
 
Purity
 
99.8
 
99.8
 
密度/g/cm3
 
Density
 
 ≥2.31
 
≥2.41
 
晶粒度/μm
 
Grain size
 
≤100
 
≤100
 
金属杂质总和/ppm
 
Total content of metallic impurities
 
≤2000
 
≤2000
 
规格尺寸/mm
 
Size
 
平面靶
 
Planar target
 
热等静压
 
Hot isostatic pressing
 
≤1000×250
 
热等静压
 
Hot isostatic pressing
 
≤1000×250
 
旋转靶
 
Rotating target
 
热喷涂成形
 
thermal spraying
 
长度Length≤4000
 
厚度Thickness≤15
 
热喷涂成形
 
thermal spraying
 
长度Length≤4000
 
厚度Thickness≤15
 
 
 
SiAl (90:10 wt%)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
成分(elements)
 
硅(Si)
 
铝（Al）
 
铁（Fe）
 
铜(Cu)
 
锰（Mn)
 
碳(C)
 
钙（Ca）
 
氧(O)
 
氮(N)
 
测 试 值（wt%)       （Test values）
 
90.19
 
9.66
 
≤0.074
 
0.002
 
0.002
 
0.04
 
0.002
 
≤0.04
 
0.04
 
密度（g/cm3）（Density)
 
2.36
 
SiAl (70:30 wt%)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
成分(elements)
 
硅(Si)
 
铝（Al）
 
铁（Fe）
 
铜(Cu)
 
锰（Mn)
 
碳(C)
 
钙（Ca）
 
氧(O)
 
氮(N)
 
测 试 值（wt%)       （Test values）
 
70.81
 
28.93
 
≤0.071
 
0.002
 
0.002
 
0.04
 
0.002
 
≤0.05
 
0.04
 
密度（g/cm3）（Density)
 
2.42
 
 
 
 
 
公司生产的典型  系列合金靶材包括：
 
Si10% Al90%; Si20% Al80%; Si30% Al70%;
 
Si33%Al67%; Si50%Al50%; Si70% Al30%;
 
Si80% Al20%; Si90% Al10%; Si95% Al5%;
 
硅铝合金靶材合金成分范围从 Si 含量 5%到 95%任意配比都可生产。可确保靶材纯度>99.9%,相对密度>99%，硅相尺寸<100 微米，品质可靠，配比和规格可根据您的要求定制。