Phasics SID4-UVHR波前传感器
 
Phasics利用其四波横向剪切干涉技术，在紫外波前测量提供了  的解决方案。它有非常高空间分辨率（345x275测量点）和在190-400nm范围具有高灵敏度（0.5 nm RMS）。因此，SID4-UVHR是完全适用于光学元件的特性（用于光刻技术、半导体…）和表面检查（透镜和晶片…）。由于它小巧，易于使用，能有效地适应各种实验条件。
 
          
 
   SID4-UVHR 
 
                  
 
 光学器件测量                  
 
 
自适应光学
 
 
 
特点：
 
由于其  的专利技术技术，Phasics的SID4-UVHR波前传感器具备以下特点：
 
1.高分辨率：250x250测量点
 
2.高灵敏度：0.5nm
 
3.通光孔径大：8*8mm
 
4.直接测量：光学元件和表面质量
 
 
 
应用：
 
SID4-UVHR紫外波前传感器提供应用：
 
紫外激光器：光束测试与校正
 
光学测量：UV光学测试（半导体…）和表面测量
 
 
 
SID4-UVHR产品参数：
 
 
 
 
  
 
   
 
波长范围
 
 
   
 
190 - 400 nm
 
 
  
 
  
 
   
 
通光孔径
 
 
   
 
13.6 x 10.9 mm2
 
 
  
 
  
 
   
 
空间分辨率
 
 
   
 
40 µm
 
 
  
 
  
 
   
 
采样点（相位/强度）
 
 
   
 
345 x 275
 
 
  
 
  
 
   
 
相位相对灵敏度
 
 
   
 
1 nm RMS
 
 
  
 
  
 
   
 
相位精度
 
 
   
 
10 nm RMS
 
 
  
 
  
 
   
 
动态范围
 
 
   
 
 ~
 
 
  
 
  
 
   
 
采样频率
 
 
   
 
> 30 fps
 
 
  
 
  
 
   
 
实时分析频率
 
 
   
 
3 fps (full resolution)
 
 
  
 
  
 
   
 
数据接口
 
 
   
 
Giga Ethernet
 
 
  
 
  
 
   
 
尺寸(w x h x l)
 
 
   
 
51 x 51 x 76mm
 
 
  
 
  
 
   
 
重量
 
 
   
 
~300 g