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高功率脉冲磁控溅射电源
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- 100件
- 产地
- 河北省/唐山市
- 发货期
- 自买家付款之日起20天内发货
- 产品参数 -
| 商标 | Bovceed |
|---|---|
| 型号 | Ssph |
| 规格 | 15/20/30/40kw |
| 包装 | 木箱 |
| 产量 | 50 |
| 是否有现货 | 是 |
| 功能 | 其它 |
| 输出类型 | 单极性窄脉冲 |
| 输出功率 | 15/20/30/40kw |
| 输入电压 | 380V |
| 稳压形式 | 其它 |
| 连接方式 | 其它 |
| 供电系统 | 其它 |
| 型号 | Ssph |
| 规格 | 15/20/30/40kw |
| 商标 | Bovceed |
| 包装 | 木箱 |
- 产品详情 -
高功率脉冲磁控溅射电源基本介绍SSPH系列高功率脉冲磁控溅射（HPPMS）电源工作于二级高频变换模式，直流脉冲输出。单个脉冲可输出2-8兆瓦的峰值功率。高功率密度的阴极材料将产生高的金属离化率，并且不含靶材颗粒，本系列电源制备的涂层表现出良好的结合力和致密性，适用于硬质膜层及 装饰膜层制备。电源功率范围15/20/30/40KW输入电源三相四线制380V±10％50-60Hz输出方式单极性窄脉冲脉冲宽度5-250uS脉冲频率最高500HZ输出电压空载1000-2000V输出电流1200A2400A3600A4800A灭弧时间≤1uS负载持续率100%冷却方式风冷使用环境环境温度0-40℃环境湿度相对湿度≤85％空气清洁无粉尘无腐蚀性易燃性气体通风良好通讯方式RS485/RS232说明：电源的输出功率可根据使用需要作相应调整高功率脉冲磁控溅射电源技术参数
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