（1）应用领域
 
计量领域（平面平晶检测），
 
半导体工业（晶片检测），
 
大平板显示（平面检测），
 
手机工业（背板检测）,
 
光学加工（窗口玻璃检测），
 
高精度精密机械（平面元件检测）,
 
LED工业（蓝宝石衬底检测），
 
数据存储和科研院校教学仪器等多种领域。
 
平面平晶、窗口玻璃、光学平面、金属平面、陶瓷平面等 光滑表面面形的高精度快速测量，90°直角棱镜和角锥测量。
 
 
 
                                                              （2） 产品综述
 
无应力平面检测干涉仪是高性能模块化组合检测干涉仪中的一种，
 
它采用组合式激光干涉仪作为核心部件，主要用于  检测高精度平面。
 
该产品包括光源、主机、成像以及镜头和相移等  模块，主要技术指标已达到国际水平, 采用 加简便操作的俯式测量，拥有  的  测量精度和  测量重复性，
 
突破了一等平面平晶限制，且其采样点可达上百万像素，能客观反映被测平面全貌。 不仅测量精度高，而且具有  的测量效率。
 
此款干涉仪可广泛应用高精度光学元件制造、计量检测、生物医学、
 
航空  、  、微电子、能源等众多领域 具有广阔的市场前景。
 
 
 
                                                            （3） 参数性能
 
测量原理：
 
斐索干涉原理
 
光源波长：
 
632.8nm
 
样品准直：
 
使用两个光点
 
电源:
 
220V 50HZ /11 0V 60HZ
 
操作系统：
 
Windows7/10, 32/64bit
 
CCD分辨率：
 
1280*960像素
 
软件：
 
H&L-p数字化相移分析软件
 
精密度：
 
/600 PV
 
重复性：
 
入/500 PV
 
重复性：
 
入/1000 RMS
 
透射平面镜精度：
 
A/20 PV