MEMSMap 510激光多普勒振动测量系统
 
 
 
基于激光的微结构高频、低振幅振动三维测量系统。
 
MEMSMap 510还可以测量静态位移，它可以测量粗糙和光滑的表面，具有微米的空间分辨率。
 
通过使用长焦距物镜，MEMSMap 510可以通过窗口和热过滤器、镜子以及液体介质进行测量。             
 
 
 
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MEMSMap 510使用扩展的激光束照亮目标区域，同时通过显微物镜将目标成像到CMOS传感器阵列上。
 
对于平面外测量，使用内部参考光束干扰目标光。对于平面内测量，两束激光用于物体照明。
 
对于振动测量，系统计算机使用信号发生器驱动激励装置，目标物体在一个频率范围内被激励。
 
振动振幅条纹可以实时显示，同时采用  的记录算法计算数值振幅和相位图。
 
对于静态挠度测量，光电管技术基于相移来记录和计算被测物体的静态挠度。
 
激光器类型：Nd：YAG/2
 
激光波长：532nm
 
CCD分辨率：1936*1216/CMOS
 
振幅分辨率（数字模式）：0.1nm
 
振幅分辨率（实时模式）~1nm
 
3D频率范围：0-240MHz
 
  激光多普勒测振仪以其测速精度高、测速范围广、动态响应快、非接触测量等优点在航空  、机械、生物学、医学以及工业生产等领域得到了广泛应用和快速发展。激光测振仪主要应用多普勒效应实现物体的振动测试，利用激光的非接触测量可实现一些特殊环境下的测试，例如对微电子元件（MEMS），机床高速旋转轴的径向跳动及轴向振动以及在高温腐蚀环境下的测试，实现了传统的接触式传感器在这些应用领域的空白。