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九成新SANKYO三协真空机器人SR8651

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产地: 广东省/广州市

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: 广州市广科智能技术有限公司

主营产品：: 大福STK改造,村田STK改造,新盛STK改造,盟立STK改造,大福LIFTER改造,大福AMHS改造,村田AMHS改造,真空机器人维修,洁净室机器人保养,pms在线粒子检测系统,ASC维修,FFU洁净单元保养

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- 产品参数 -

型号	SR8651
型号	SR8651
最大速度「RR/RL 轴」(㎜/sec)	2474
动作范围「RR/RL 轴」(㎜)	2720
真空度	1.33×10-2
自由度	5-AXIS(all AC-servo controlled)
最大速度「噪音」(dB)	80 or less
最大速度「Z 轴」(㎜/s)	400
动作范围「Z 轴」(㎜)	465(Solar)/670(LCD)
最大速度「重复精度」(㎜)	+/-0.2
动作范围「θ轴」(deg)	+140～-185
最大速度「θ轴」(rads/s)	2.09

- 产品详情 -

 
 SANKYOSR8651 
 
 
 SANKYOSR8651SR8652…… 
 
 
 SANKYOSR8651 
 
 
 (Pa)1.33×10-2 
 5-AXIS(all AC-servo controlled) 
 RR/RL ()2400 
 Z ()250/450 
 θ(deg)+140-185 
 RR/RL(/sec3370 
 Z (/s)300 
 θ(rads/s)2.09 
 ()+/-0.2 
 (dB)80 or less 
 ()1100×1300 t=3.15.2/1300×1500 t=0.51.1/1500×925 t=0.51.1 
 
 
 SANKYOSR8652 
 
 
 1.33×10-2 
 5-AXIS(all AC-servo controlled) 
 RR/RL ()2720 
 Z ()465(Solar)/670(LCD) 
 θ(deg)+140-185 
 RR/RL (/sec)2474 
 Z (/s)400 
 θ(rads/s)2.09 
 ()+/-0.2 
 (dB)80 or less 
 ()1100×1300 t=45(Solar) 
 ()1500×1850 t=0.51.1(LCD) 
 
 
 SANKYOSR8651 
 

    
 
 
 SANKYOSR8651 
 
 
 150200/10-7 pa200