商标 | 详询 |
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型号 | Se-rd-std |
规格 | 台 |
包装 | 详询 |
是否有现货 | 是 |
分类 | 其它 |
类目 | 测定仪 |
型号 | Se-rd-std |
规格 | 台 |
商标 | 详询 |
包装 | 详询 |
专利分类 | 详询 |
专利号 | 详询 |
SE-RD-STD系列全光谱椭偏仪基本介绍● 桌上型膜厚量测设备
● 安装移动迅速便捷
● 适用于所有非金属膜质
● 多样化的应用选择
● 工业标准数据端口
规格
技术指标
衬底类型
透明或半透明衬底
光源
氙灯
光源寿命
>8760H
光谱范围
300-1000nm
入射角
70度(40度-90度 每5度可调)
光斑直径
100x120μm(Min80x100um)
测量时间(不对焦)
<2S(单层模型),<约6s(多层模型)
膜厚测量范围(单层膜)
1nm-15μm
对焦
自动讯号对焦
膜厚测量精度
<0.5nm(基于标片)
折射率测量精度
<0.005(基于标片)
厚度重复性精度:
<0.5A(1 sigma 标准差,10times)(基于标准片)
折射率重复性精度:
<0.0005(1 sigma标准差,10times)(基于标准片)
可测试膜层数量
≥2层
标片数量
2片
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