SE-RD-STD系列全光谱椭偏仪
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产地
日本
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无锡浩辉者新材料科技有限公司

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主营产品:
可携式拉曼/荧光光谱系统,显微共轭焦拉曼/荧光光谱系统,材料与生物影像分析系统,材料应力分析系统,扫描探针近场光谱分析系统,显微曝光系统,临场分析变温载台,光源,光谱仪与侦测器,纳米材料专区,实验室规划与代检服务
- 产品参数 -
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型号 Se-rd-std
规格
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分类 其它
类目 测定仪
型号 Se-rd-std
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专利号 详询
- 产品详情 -
SE-RD-STD系列全光谱椭偏仪基本介绍

● 桌上型膜厚量测设备

● 安装移动迅速便捷

● 适用于所有非金属膜质

● 多样化的应用选择

● 工业标准数据端口

 

规格

技术指标

衬底类型

透明或半透明衬底

光源

氙灯

光源寿命

>8760H

光谱范围

300-1000nm

入射角

70度(40度-90度 每5度可调)

光斑直径

100x120μm(Min80x100um)

测量时间(不对焦)

<2S(单层模型),<约6s(多层模型)

膜厚测量范围(单层膜)

1nm-15μm

对焦

自动讯号对焦

膜厚测量精度

<0.5nm(基于标片)

折射率测量精度

<0.005(基于标片)

厚度重复性精度:

<0.5A(1 sigma 标准差,10times)(基于标准片)

折射率重复性精度:

<0.0005(1 sigma标准差,10times)(基于标准片)

可测试膜层数量

≥2层

标片数量

2片

 
 
 
 
 
 
 
 
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