RTP快速退火炉主要技术参数




1
 

项 目
 

主要技术指标
 

数据
 



2
 

规格型号
 

CHY-T1100X-RTP
 





3
 

温度控制
 

最高温度点
 

1200℃
 



4
 

额定温度
 

1100℃
 



5
 

稳定状态温度范围
 

100～1000℃
 



6
 

温度测量精度
 

±0.2℃
 



7
 

温度控制重复性
 

±1℃
 



8
 

温度控制精确度
 

±1℃
 



9
 

温场均匀性
 

±2℃
 



10
 

温度状态工艺时间（S）
 

2～100（100～1000℃）
 



11
 

 快升温速率
 

500℃/S
 



12
 

降温速率（℃/S）
 

1～200（通氮气，速率  ）
 



13
 

温度控制模式
 

智能模糊全闭环控制
 



14
 

软件功能
 

操控系统
 

NBD-101智能系统
 



15
 

用户界面
 

中英文互换
 



16
 

工艺菜单编辑
 

触屏式图像操作界面
 



17
 

扩充端口
 

可扩充真空测控和FFC供气
 



18
 

看门狗
 

系统进入死循环时关闭主控制器
 



19
 

热电偶校准状态检测
 

软件校准，方便准确，软件分析传感器状态是否正常
 



20
 

超高温状态检测
 

软件检测出温度信息出现高温异常时，切断主回路
 



21
 





触摸屏尺寸
 

7"LCD
 



22
 

物理指标
 

最大功率
 

15kw
 



23
 

额定电压
 

AC380～400V，50Hz（60Hz定制）
 



24
 

传感器类型
 

S型单铂铑
 



25
 

反应腔室内径尺寸
 

Φ100X200mm
 



26
 

式样有效空间
 

3.5"
 



27
 

真空度
 

4.3×10-3Pa(外配分子泵）
 



28
 

抽气端口尺寸
 

KF16（或Φ8mm宝塔嘴）
 



29
 

供气口尺寸
 

Φ6.35mm双卡套
 



30
 

冷却方式
 

自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) 
 



31
 

外形净尺寸（mm）
 

长920×深500×高560
 



32
 

重量
 

净重65kg