一、气体质量流量传感器-FS1015系列主要特性：1）传感器灵敏度高，有极小的始动流量2）传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量3）在单个芯片上集成了多个传感器，使传感器的量程比大大提高4）传感器的零点稳定度高5）全量程高稳定性6）全量程高精确度和  的重复性7）低功耗＜100mW8）低压损＜1300Pa9）响应时间快8msec二、气体质量流量传感器-FS1015系列典型应用：适用于电气体质量流量的测量。技术参数：产品FS1015CL单位流量范围0~100/0~150SLPM量程比100：1精度±(1.5+0.2FS)%重复性0.25%零点输出飘移±30mV输出飘移±0.12%/℃响应时间8ms工作电压5±1%Vdc输出方式线性，模拟电压0.5~4.5Vdc最大流量压损1300Pa最大工作压力0.2MPa工作温度-10~+55℃储存温度-20~+65℃工作湿度<95%RH(无结冰、无凝露)电气接口5针插座，AMP103956-4机械接口   -15mm校准方式空气，20℃，101.325kPa重量21.5g