NITTO DENKO 日东电工MA3000Ⅲ 12寸贴膜撕膜一体机
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供货总量
100台
产地
日本
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上海瞻驰光电科技有限公司

主营产品:
研磨,抛光,划片,贴膜,撕膜,蒸发台,溅射台,CMP,干法刻蚀,干法去胶,离子注入,快速热退火
- 产品参数 -
商标 NITTO
型号 MA3000Ⅲ
规格 可用框架尺寸:300 mm/200 m
包装 标准
是否有现货
品牌 Nitto denko
自动化程度 全自动
是否加工定制
电流 交流
型号 MA3000Ⅲ
规格 可用框架尺寸:300 mm/200 m
商标 NITTO
包装 标准
- 产品详情 -
  MA3000III

全自动晶圆贴膜机可将切割胶带粘贴在晶圆背面/切割框架上,也可将保护胶带从有图案的晶圆表面剥离。

具有前开式晶圆盒/开放式晶圆匣

可用于薄晶圆;同轴系统(可选);小(业内  )

保护胶带剥离性能提高;可通过触摸面板和配方功能简易操作

日志文件功能标准设备;可添设晶圆映射扫描仪

符合SECS/GEM标准;符合CE标志/SEMI S2/S8规范要求

可用框架尺寸:300 mm/200 mm

可用晶圆尺寸:300 mm/200 mm

可用晶圆厚度:30 um或 厚(同轴系统),50 um或 厚(单独)

吞吐量:卷胶带:40晶圆/小时预切胶带:45晶圆/小时 
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