LD BAR 条排列机OPTO排巴机LNS10DOK
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100台
产地
日本
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上海瞻驰光电科技有限公司

主营产品:
研磨,抛光,划片,贴膜,撕膜,蒸发台,溅射台,CMP,干法刻蚀,干法去胶,离子注入,快速热退火
- 产品参数 -
商标 Opto
型号 Lns10dok
规格 1500(w)×1000(d)×2000
是否有现货
品牌 Opto
自动化程度 全自动
电流 直流
型号 Lns10dok
规格 1500(w)×1000(d)×2000
商标 Opto
重量 约1000kg
空气 0.5mpa 2L/min
电源 230V 50/60Hz 15A
- 产品详情 -
  一、本装置是将双环上的LD Bar 和Spacer Bar 相互排列到镀膜用排列治具中的全自动设备。

1.通过顶针机构将LD BAR 条从蓝膜上顶起,通过机械手吸取并放置到镀膜用排列治具中。

2.通过机械手吸取Spacer bar 并放置到镀膜排列治具中。

二、对象工件、供给形态、治具、排列状态:

1.对象工件LD Bar 共振腔长:200μm,250μm,500μm,800μm

LD Bar 长度:8-27mm

LD Bar 厚度:85-120μm±10μm

※要进行从膜上的剥离试验

Space Bar 共振腔长:180μm,230μm,480μm,780μm

Space Bar 长度:8-30mm

Space Bar 厚度:85-120μm±10μm

Space Bar 材质:硅或砷化镓

 Bar 供给形态双层环:6英寸(GRIP-4)

 Bar 供给托盘引脚托盘:100根/1托盘,可以装置1枚

供给状态:Spacer Bar 向着共振腔方向并列排列的状态

4.排列治具设备上装载数量:1个

(专用治具)※如需特殊规格,请提供治具图纸。

5.排列状态段差排列

排列状态(单面平坦-单面段差)

*通过更换排列治具后、也可以对应平面放置。

三、设备工作流程:

1.工件在安装后自动开始。

2.通过CCD 摄像头1、认识确认双层环上的LD bar 全部数量。

3.通过摄像头2、根据③的位置数据进行  对位。

 Bar 供给工作台,最初的SP 取出向位置移动、通过激光传感器进行位置确认进行SPBar 的位置重合

5.通过SPBar 供给搬送吸嘴的抓取动作吸着SP Bar,通过吸嘴真空压传感器确认有无工件。

6.使用排列工作台Y轴及Bar 按压Y、Z轴机构时SP Bar 排列。此时、通过传感器进行排列位置范围位

置确认。(排列工作台及Bar 按压系统)

7.通过④对位完成的LDBar 由吸嘴的抓取动作和膜剥离动作、吸取抓取LD Bar.此时、通过吸嘴的真空

压传感器确认有无工件。在搬送途中吸嘴90°旋转、传感器确认LD bar 的折断有无。此后、向排列治

具移动在Z轴向治具里放入工件。

※LDBar 折断被检出的工件向NG 盒搬送。(LD 供给搬送)

8.排列工作台Y轴及Bar 按压机构的使用进行LD Bar 的排列。

此时、通过传感器确认排列位置范围。

(排列工作台及Bar 按压系统)

9.重复上面④~⑨的动作、供给托盘(LD bar 或者SP)空了及排列治具装满的情况下、通过 报灯及

旋律通知。更换工件、从供给后①开始再次操作。

四、数据表示?不良Bar 的取出:

1.表示累积处理的个数

2.供给扩张环内的LD Bar 在抓取搬送途中,LD Bar 的折断经过传感器确认后、NG 的情况下向HG 托盘运

送。

五、装满及报警:

1.根据排列治具的根数设定或者在排列范围装满时及供给工件(LD Bar、Spacer Bar)没有了的情况、发

出 报和 报灯闪烁。

工件连续发生。

3.排列工作台上没有治具。

4.通过画像处理不能确认位置时。

5.手动操作时InterLock 动作时表示操作画面。

六、 报灯?旋律

1. 报灯规格(在各亮灯部位贴有颜色显示)

例绿色亮???????????自动运行中

黄色闪???????????排列终了或者待机中

红色闪???????????异常发生时

2.旋律

异常时和自动运转结束时、用旋律通知操作者。 
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