日本engis化合物半导体材料LD 抛光设备EJ-380INWS晶圆抛光 单面研磨系统InP GaAs
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1000台
产地
日本
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上海瞻驰光电科技有限公司

主营产品:
研磨,抛光,划片,贴膜,撕膜,蒸发台,溅射台,CMP,干法刻蚀,干法去胶,离子注入,快速热退火
- 产品参数 -
商标 ENGIS
型号 EJ-380INWS
规格 尺寸705mm×750mm×680mmH
包装 标准
是否有现货
品牌 ENGIS
自动化程度 半自动
是否加工定制
电流 交流
型号 EJ-380INWS
规格 尺寸705mm×750mm×680mmH
商标 ENGIS
包装 标准
- 产品详情 -

单面抛光设备:设备的设计理念及特征本设备是搭载φ300mm(12英寸)定盘的高精度、高效率的抛光机。

任何人通过配置在设备后部的台式定盘修正机都可以非常容易的实现定盘平面度数μm以内的修正,从而实现高精度抛光加工。 

主要规格: 设备型号EJ-380INWS 

定盘直径外径φ380mm×内径φ140mm(标准尺寸) 

水冷部位密闭型冷却水循环式(内循环分离式) 

尺寸705mm×750mm×680mmH*含防尘盖高度 重量100Kg(NET)

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engis抛光设备

 

 
 
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