TC-wafer校准仪是一款应用于晶圆温场均匀性实时测量校准的仪器设备,并能生成报告。
 
 
产品特点：
 
 支持  20路实时测量晶圆温度；
 
 温度均匀性实时曲线图和数值显示；
 
 采集数据Excel表格导出，并生成报表；
 
 晶圆温点分布直观显示并自动生成校准报告；
 
 可快速更换TC-wafer及自定义功能;
 
 大屏高分辨率显示；
 
 数据  采集10次/秒；
 
 65瓦Type-C快速充电；
 
 内置大容量电池，使用可达4小时；
 
 10000条数据存储量；
 
 支持多种传输方式，如U盘、蓝牙、无线网络；
 
 便携一体化设计；
 
       ......
 
产品应用:
 
 RTP设备生产厂家
 
 使用RTP设备客户
 
 TC-wafer生产厂家
 
   其他晶圆热处理设备