基本介绍 
 
 
 
武汉嘉仪通科技有限公司成立于2009年，是一家技术自主创新的国家新技术企业。公司集快速退火炉研发、市场和技术服务于一体的真空快速退火炉厂家。
 
 
 
 
 
本公司生产销售的真空快速退火炉覆盖1-12吋样品测试，分为科研与产线两种应用场景类型共8款机型。
 
 

  性能特点 
 
 
 
真空快速退火炉产品特点：
 
 
快速加热和降温: 可控升温速率可达50 ℃/s，特定条件下可以达到100 ℃/s。冷壁水冷设计能够达到较大的降温速率，特定条件下可达30 ℃/s。
 
 
   控温: 采用工业级温控器进行PID  控温，目标温度与设定温度曲线一致性高，可实现室温至1200 ℃的温度精确控制。
 
 
 适应多种工艺环境: 满足多种工艺气氛下的热处理（氮气、氩气等）。同时，通过选配真空泵，可以在真空条件下进行退火，真空度可达10-3Pa。
 
 
 配备观察窗口: 通过观察窗口，可以实时观察热处理过程中的样品变化。同时，可以结合相关测试方法进行原位测试分析。
 
 
 安全系数: 采用炉壁超温报警系统和冷却水流量报警系统，多方位保障仪器使用安全。
 
 
真空快速退火炉厂家：拥有技术和制造能力，能快速反应客户售后需求。
 
 

  技术参数 
 
 
 
真空快速退火炉技术参数：
 
 
 
 
 
 
  
 
   
 
    
 
型号
 
 
    
 
1-12英寸系列
 
 
   
 
   
 
    
 
温度
 
 
    
 
1200℃
 
 
   
 
   
 
    
 
升温速率
 
 
    
 
50℃/s
 
 
   
 
   
 
    
 
温度均匀性
 
 
    
 
≦1%设定温度
 
 
   
 
   
 
    
 
温度控制
 
 
    
 
选用工业级温控器，控温精度±0.1℃
 
 
   
 
   
 
    
 
温度传感器
 
 
    
 
标准K型热电偶
 
 
   
 
   
 
    
 
降温速率
 
 
    
 
1200℃→400℃，200℃/min
 
400℃→100℃，20℃/min
 
（自然冷却）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品尺寸
 
 
    
 
1-12英寸样品
 
 
   
 
  
 
 
 
 

  使用案例                     
 
 
 
公司的快速退火炉服务于的大学有：清华大学、复旦大学、南京大学、浙江大学等大学；
 
 
服务的重要科研院所：中科院微电子所、半导体所、微系统所、绵阳九院等；
 
 
服务的半导体企业有：华为海思、三安光电、敏而精密、泽达等等头部半导体企业等等。