产品说明：该产品系我司针对VeecoK465i设备设计生产的滤芯，安装于真空泵前，用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒；2只/组（粗滤、细滤）组成材料：1、滤材：耐高温玻纤滤料2、支撑材料：双面304#不锈钢金属网3、骨架：304#不锈钢菱形网4、密封垫圈：硅发泡橡胶垫片5、密封胶：硅橡胶规格：1、端盖：φ360、304#不锈钢2、耐高温密封垫：φ340*φ265*T53、折数：一级（100μm）:118折,折高65mm;二级（25μm）:88折，折高65mm过滤效率：1、粗滤：100μm=90%2、细滤：25μm=99.95%3、透气量：1000L/Sec/㎡产品特性：1、采用两级过滤工艺，分级过滤杂质、有效去除不同大小的颗粒杂质。2、波纹工艺，有效过滤面积增加，容污能力强，使用周期长。3、滤料采用玻纤滤料，具耐高温、耐腐蚀，长期使用温度可达250度以上。4、专用的高精度过滤材料，空隙均匀，过滤精度高，有效保护设备。。MOCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition)是生长高质量半导体薄膜材料的技术，在LED、半导体激光器、太阳能电池等多个领域都有应用。现有MOCVD设备的成本非常高，且完全依赖进口，进行MOCVD设备研究对国内半导体产业、新能源领域以及    技术的发展都很有必要。