型号标准驱动型检出器退避型横向驱动型SJ-310（0.75mN型）SJ-310（4mN型）SJ-310（0.75mN型）SJ-310（4mN型）SJ-310（0.75mN型）SJ-310（4mN型）货号178-570-01178-570-02178-572-01178-572-02178-574-01178-574-02测量范围X轴16.0mm5.6mm检出器范围360μm（-200μm～＋160μm）范围/分辨率360μm/0.02μm100μm/0.006μm25μm/0.002μm测量速度测量时：0.25mm/s，0.5mm/s，0.75mm/s、返回时：1mm/s测力/测针  形状货号末尾：为-01时：0.75mN/2μmR60o、代码号末尾为-02时：4mN/5μmR90o导头压力400mN以下适应标准JIS＆＃39；82/JIS＆＃39；94/JIS＆＃39；01/   ＆＃39；97/ANSI/VDA测量曲线测量曲线面曲线、粗糙曲线、DF曲线、粗糙MOTIF、波形MOTIF曲线评价参数Ra，Rc，Ry，Rz，Rq，Rt，Rmax*1，Rp，Rv，R3z，Rsk，Rku，Rc，RPc，Rsm，Rz1max*2，S，HSC，RzJIS*3，Rppi，RΔa，RΔq，Rlr，Rmr，Rmr（c），Rδc，Rk，Rpk，Rvk，Mr1，Mr2，A1，A2，Vo，λa，λq，Lo，Rpm，tp*4，Htp*4，R，Rx，AR，W，AW，Wx，Wte可定制