PHL双折射/残余应力测量仪PA-300-XL基本介绍在PA系类设备的基础上，加装晶圆专用的装置，可以    的测量SIC和蓝宝石这类光学性能特殊的产品的双折射和残余应力的信息。PHL双折射/残余应力测量仪PA-300-XL性能特点操作简单，测量速度可以快到3秒。视野范围内可一次测量，测量范围广。 直观的全面读取数据，无遗漏数据点。具有多种分析功能和测量结果的比较。维护简单，不含旋转光学滤片的机构。高达2056x2464像素的偏振相机。PHL双折射/残余应力测量仪PA-300-XL技术参数项次项目具体参数1输出项目相位差【nm】，轴方向【°】，相位差与应力换算（选配）【MPa】2测量波长520nm3双折射测量范围0-130nm4测量最小分辨率0.001nm5测量重复精度<1nm（西格玛）6视野尺寸40x48mm到240x320mm（标准）7选配镜头视野不适用8选配功能实时解析软件，镜片解析软件，数据处理软件，实现外部控制